美國(guó)專(zhuān)家：中國(guó)為自研設(shè)備囤積大量ASML光刻機(jī)

芯片這行當(dāng)，本來(lái)就是全球大家一塊兒干，中國(guó)企業(yè)平時(shí)從荷蘭的ASML買(mǎi)光刻機(jī)用著，覺(jué)得靠譜又不貴，干嘛自己折騰研發(fā)呢，那得砸多少錢(qián)進(jìn)去，還不一定成。結(jié)果美國(guó)那邊從2019年就開(kāi)始卡脖子，先不讓賣(mài)最牛的EUV機(jī)型，DUV還能湊合著進(jìn)貨。

中國(guó)供應(yīng)鏈前端一卡，生產(chǎn)就跟不上了，企業(yè)們這時(shí)候才真切感覺(jué)到，得靠自己才行。國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)起步晚，技術(shù)跟不上，短期內(nèi)沒(méi)法補(bǔ)這個(gè)窟窿。

國(guó)家層面一推動(dòng)，大家就開(kāi)始大批采購(gòu)還能買(mǎi)到的DUV設(shè)備，囤著用，也給自研騰出工夫。2023年，荷蘭專(zhuān)家馬克·海金克采訪ASML高層，書(shū)里寫(xiě)得清楚，這策略是為了緩沖美國(guó)制裁的風(fēng)險(xiǎn)。

中國(guó)芯片企業(yè)這么干挺明智的，美國(guó)管制一層層加碼，2023年9月荷蘭新規(guī)要求DUV出口也得許可，中國(guó)企業(yè)提前下手，2023年進(jìn)口量就蹭蹭上漲。光刻機(jī)占芯片設(shè)備支出的四分之一，是最關(guān)鍵的前端工具，沒(méi)它啥都玩不轉(zhuǎn)。中國(guó)囤積的不光是機(jī)器，還有耗材啥的，能維持生產(chǎn)線運(yùn)轉(zhuǎn)一陣子。

國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)也顯示，全球芯片制造靠這些設(shè)備，中國(guó)企業(yè)用進(jìn)口的來(lái)穩(wěn)住陣腳，同時(shí)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)始拆解研究，逐步搞懂原理。這么一來(lái)，美國(guó)想完全卡死就沒(méi)那么容易了，企業(yè)有時(shí)間調(diào)整供應(yīng)鏈。

中國(guó)企業(yè)囤積ASML設(shè)備，這事美國(guó)投資銀行分析師Charles Shi在日經(jīng)亞洲采訪里直說(shuō)了，中國(guó)正努力開(kāi)發(fā)自家光刻技術(shù)，但這得花功夫，手里這些庫(kù)存就是緩沖。

2024年，中國(guó)買(mǎi)了10.45億美元的工具，ASML都樂(lè)壞了，但他們也知道，這可能是最后一批大單。2025年，ASML預(yù)計(jì)中國(guó)市場(chǎng)份額降到20%，因?yàn)楣苤粕?jí)，美國(guó)不讓賣(mài)浸潤(rùn)式DUV給某些中國(guó)廠，還包括軟件啥的。

荷蘭外長(zhǎng)也說(shuō)，分享美國(guó)關(guān)切，得控住先進(jìn)設(shè)備出口。中國(guó)企業(yè)早有準(zhǔn)備，用囤的機(jī)器維持7nm和14nm生產(chǎn)，像中芯國(guó)際這樣的，靠這些穩(wěn)住市場(chǎng)供應(yīng)。

中國(guó)自研光刻機(jī)起步雖晚，但步伐穩(wěn)。上海微電子設(shè)備公司SMEE已經(jīng)搞出90nm級(jí)別的工具，目標(biāo)直指65nm和28nm，雖然可靠性還有點(diǎn)問(wèn)題，但至少在低端節(jié)點(diǎn)能用了。

華為在這事上出力不少，2021年幫著成立SiCarrier，還和Yuliangsheng合作開(kāi)發(fā)浸潤(rùn)DUV，甚至瞄著EUV去。2025年Semicon China展會(huì)上，SiCarrier亮了相，展示了不少工具。

國(guó)家基金也下血本，2024年5月第三階段集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金砸了3440億人民幣，重點(diǎn)扶植光刻供應(yīng)鏈，還拉來(lái)1.38萬(wàn)億私資。地方上，北京上海深圳都出政策，支持本土供應(yīng)商搞光阻、鏡片、激光啥的。

美國(guó)管制一波波來(lái)，2024年4月就開(kāi)始?jí)汉商m不讓ASML維修中國(guó)設(shè)備，影響有限，但信號(hào)清楚。中國(guó)企業(yè)不慌，用囤積的ASML機(jī)器做逆向工程，買(mǎi)國(guó)外工具研究，幫本土廠商調(diào)優(yōu)。

像Naura，現(xiàn)在已經(jīng)是全球第六大芯片工具廠商，營(yíng)收從2019年漲了473%。中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)在刻蝕、沉積、測(cè)量、化學(xué)拋光上基本用上國(guó)產(chǎn)替代，進(jìn)步飛快。

光刻這塊雖是短板，但囤積給了時(shí)間，SMIC在北京擴(kuò)廠，用老外工具產(chǎn)先進(jìn)芯片，同時(shí)本土鏈條逐步補(bǔ)齊。專(zhuān)家說(shuō)，中國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備幾乎每個(gè)類(lèi)別都大步前進(jìn)了，就差光刻，但庫(kù)存買(mǎi)了時(shí)間。

中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)目標(biāo)是全鏈國(guó)產(chǎn)化，這幾年成效明顯。中芯國(guó)際在北京建廠，產(chǎn)7nm和14nm芯片，用囤積設(shè)備頂著。長(zhǎng)江存儲(chǔ)和長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)在存儲(chǔ)上進(jìn)步大，用本土工具替換。北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、盛美半導(dǎo)體在刻蝕、沉積、拋光上實(shí)現(xiàn)替代，營(yíng)收暴漲。

國(guó)際上，ASML2025年對(duì)中國(guó)銷(xiāo)售降，但中國(guó)本土廠商填空。國(guó)家基金和地方政策合力，扶植光阻、鏡頭、激光等部件，本土供應(yīng)商擴(kuò)產(chǎn)。華為支持下，SiCarrier和Yuliangsheng開(kāi)發(fā)DUV，2025年展出成果，可靠性逐步改善。

說(shuō)起進(jìn)步，中國(guó)頂芯片工具廠商組合營(yíng)收從2019年漲473%，Naura全球第六。SMEE的90nm機(jī)雖有限制，但低端市場(chǎng)能用，目標(biāo)28nm。管制逼中國(guó)轉(zhuǎn)國(guó)產(chǎn)，這對(duì)全球鏈條是沖擊，但中國(guó)企業(yè)穩(wěn)住了供應(yīng)。

專(zhuān)家們承認(rèn)，中國(guó)在設(shè)備類(lèi)別上幾乎全覆蓋，就光刻慢點(diǎn)，但囤積幫了忙。ASML富凱說(shuō)，障礙再多，中國(guó)總會(huì)突破，努力加倍。

日經(jīng)報(bào)道，中國(guó)買(mǎi)日本工具340億，囤積策略奏效，本土替代加速。半導(dǎo)體協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)，光刻占設(shè)備25%，中國(guó)前端雖靠進(jìn)口，但后端國(guó)產(chǎn)化率高。

這成果實(shí)打?qū)崳行緡?guó)際黑名單下還擴(kuò)產(chǎn)，靠庫(kù)存設(shè)備和本土鏈。CXMT和YMTC替換工具，生產(chǎn)順暢。地方上，上海深圳政策支持，吸引人才投資。華為從國(guó)外挖專(zhuān)家，建樞紐，幫新興公司如Yuliangsheng搞EUV部件。

中國(guó)企業(yè)不傻，囤積就是為了不挨餓，自研是為了長(zhǎng)遠(yuǎn)飯碗。管制來(lái)，中國(guó)轉(zhuǎn)國(guó)產(chǎn)，進(jìn)步看得見(jiàn)。北方華創(chuàng)等公司利潤(rùn)紀(jì)錄，本土替代在多個(gè)環(huán)節(jié)落地。光刻雖難，但從90nm起步，逐步追。ASML對(duì)中國(guó)份額降，但中國(guó)市場(chǎng)沒(méi)空窗。

專(zhuān)家分析，這顛覆全球化，但中國(guó)自立是必然。日本高管說(shuō)，中國(guó)突破會(huì)壓國(guó)際市場(chǎng)。美國(guó)限制傷了ASML，但推中國(guó)前進(jìn)。整體看，囤積策略聰明，成果逐步顯現(xiàn)。