國內首家！（薄膜鈮酸鋰）光芯片量產代工線：推出PDK、賦能商用化Fabless！

國內首家薄膜鈮酸鋰光芯片量產代工線MEMSRIGHT（MRT）正式推出PDK，以Foundry代工與Fabless設計的產業模式，加速薄膜鈮酸產品研發迭代并打破良率低谷。該模式將實現從技術驗證向規模量產的真正跨越，成為薄膜鈮酸鋰發展核心引擎和必然路徑。

ICC訊2026 年， AI 算力產業將迎來第三次投資浪潮，多模態模型訓練需求或將成為主要推動力，以 Openclaw 為代表的 Agentic AI （代理式智能體）將 AI 算力推向新高峰。這意味著 AI 算力連接基礎設施迫切需要更高效率的光互連傳輸技術，如今 1.6T 正在起量且 3.2T 已進入市場視野，而光通信產業還面臨著技術材料與產業模式的雙重變革。在這條技術路徑的發展道路上，磷化銦（ InP ）瓶頸凸顯，硅光（ SiPh ）觸及帶寬天花板，薄膜鈮酸鋰（ TFLN ）憑借其低功耗、高帶寬成為光子芯片領域的新風口。

然而，這個新型領域究竟適合走光通信磷化銦/砷化鎵IDM模式，還是走微電子CMOS平臺Fabless+Foundry半導體產業分工模式，兩種模式正在經受市場驗證，唯有提前布局實踐方能走出真知。對此，訊石光通訊網近日走進MEMSRIGHT（蘇州工業園區納米產業技術研究院，以下簡稱“MRT”），對話薄膜鈮酸鋰領域國內首家量產代工Foundry和薄膜鈮酸鋰Fabless領先者南里臺科技，了解他們在薄膜鈮酸鋰領域的戰略布局和分工協作，如何成功證明Fabless設計+Foundry代工是光通信應用薄膜鈮酸鋰產業商業化發展的必然路徑。

十一年深耕：打造國內頂尖MEMS中試量產底座

MRT是國內領先的商業化

MEMS中試量產平臺，隸屬于國資公司蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司，位于蘇州納米城。作為MEMS中試量產服務平臺，MRT的發展軌跡正是國內微機電系統（MEMS）產業國產化的生動縮影。平臺于2011年成立，2014年正式通線，至今已深耕行業11年，是國內為數不多的成熟商業化MEMS中試量產平臺。

MRT光刻車間

十一年間，MRT的產業積淀持續夯實：累計服務企業超130家，成功通線產品突破500顆，客戶覆蓋全國18個省份；在MEMS產品領域，形成傳感器、執行器兩大核心品類，麥克風、壓力、XMR、微鏡、噴墨頭等產品均實現萬片級出貨。MRT現擁有3000平方米潔凈室、超200臺半導體先進設備，6-8英寸MEMS產線規劃年產能6萬片（月產5000片），實際年出貨量30000余片，同時擁有IATF16949車用認證，具備車規級產品的量產能力，為跨領域拓展奠定了堅實的硬件與工藝基礎。

戰略布局：從MEMS到薄膜鈮酸鋰，錨定光通信賽道

在薄膜鈮酸鋰成為全球光通信領域焦點的當下，MRT并未止步于MEMS領域，而是順勢布局，成為國內率先切入薄膜鈮酸鋰代工的量產平臺，其核心布局直指光通信領域。為此，MRT在復用現有MEMS產線基礎上，引入一系列薄膜鈮酸鋰專用設備，新建了潔凈室2000平方米，并做了大量的技術準備和產品流片驗證。

為何選擇聚焦光通信領域？核心在于技術共性與市場前景的雙重考量。MRT研發經理史云濤表示，選擇薄膜鈮酸鋰是看中該賽道與現有平臺的工藝匹配、市場前景和技術復用三個核心因素。

薄膜鈮酸鋰專業機臺

●工藝高度契合：薄膜鈮酸鋰LNOI晶圓與MEMS行業常用的SOI晶圓結構相近，僅頂層材料為鈮酸鋰，無需額外沉積膜層，現有MEMS產線經過部分改造即可適配使用，且鈮酸鋰材料熱穩定性優異（可耐300-400℃高溫），與磷化銦和砷化鎵化合物半導體外延生長工藝形成鮮明對比；

● 技術復用積累：MRT具備500余顆成功產品的流片經驗，沉淀了大量通用工藝模塊，可直接套用在薄膜鈮酸鋰芯片加工中，大幅縮短客戶交期、控制成本。

目前，MRT已在薄膜鈮酸鋰光通信芯片領域完成十數款產品開發、數十輪流片，成為國內薄膜鈮酸鋰代工領域的領先者。

工藝突破：傳輸損耗0.2dB/cm，躋身行業頂尖水平

任何半導體材料都要以商用落地為目標，而薄膜鈮酸鋰的商業化，其核心在于工藝量產能力，波導傳輸損耗是衡量工藝水平的關鍵指標。MRT王輝介紹，通過與南里臺科技的緊密合作，目前波導傳輸損耗從2023年下半年的1.0-2.0dB/cm，逐步降至2025年下半年的典型值0.2dB/cm，最優值0.05dB/cm，躋身全球行業頂尖水平。這一突破并非偶然，而是源于工藝、測試、條件的全方位優化，例如光刻條件的調整、刻蝕程式的優化、退火模式的創新，以及對機臺、制程、人員、襯底波動的精準把控，找到最佳工藝窗口與平衡點。

薄膜鈮酸鋰晶圓

更重要的是，這一指標并非實驗室 “孤品”，而是具備規模化量產的可重復性：近5款不同產品，均穩定實現0.2dB/cm的傳輸損耗，驗證了平臺的量產能力。同時，MRT采用80% PDK+20%客戶定制的靈活模式，在行業標準化尚未完善的階段，既保障了工藝的穩定性，又為客戶預留了差異化創新空間。

晶圓級測試

作為量產代工線Foundry，MRT與薄膜鈮酸鋰芯片設計廠商南里臺科技進行了深度合作，MRT工藝平臺為其芯片產品提供了高效的流片驗證，支持南里臺科技對產品持續改版優化。南里臺科技項目總監于淑慧表示，專業Foundry對流片問題的反饋會更加精確，可以極大地幫助Fabless廠商分析和解決問題。同樣，南里臺對芯片設計、技術與市場的精準把握也幫助MRT更深入理解該領域客戶需求和核心工藝。基于雙方的深度協同，實現了工藝水平不斷提升，MRT率先成為國內穩定實現低損耗量產的平臺。

晶圓級測試

模式對比：Fabless+Foundry，薄膜鈮酸鋰產業的更優解

硅光、磷化銦和薄膜鈮酸鋰是光通信收發器件應用的半導體芯片三種主要材料，該領域IDM（垂直整合）與 Fabless+Foundry（設計+代工）是兩種主流模式，其中磷化銦和砷化鎵采用IDM模塑造產品競爭力已是行業共識，而硅基光電子（硅光子）通過兼容CMOS工藝PIC（光子集成電路）制造，遵循Fabless+Foundry模式成為市場主流。這兩種產業模式最具代表性產品方案：電吸收調制激光器（EML）和基于光子集成芯片（PIC）調制器+CW光源正在大量應用于高速光模塊中。但是，隨著光通信產業技術從400G、800G和1.6Tbps向更下一代3.2Tbps演進，磷化銦和硅光材料調制帶寬能力都遭遇難度極大的瓶頸限制，被譽為“光學硅”的鈮酸鋰材料則在近年里實現了顯著的集成化突破，其具備高帶寬、低驅動電壓、插損小、消光比優異、線性度出色、結構緊湊等技術優勢，性能參數體系高度契合數據中心和AI集群場景下的3.2T可插拔光模塊及CPO封裝需求。

MRT晶圓量產

因此，薄膜鈮酸鋰必然將在下一代3.2T光通信速率時代發揮重要價值。但是，什么樣的產業模式可以實現薄膜鈮酸鋰產業商用落地？MRT相信專業Foundry代工制造可以為這產業找到一個滿足規模量產的商業路線。相比于IDM模式，Fabless+Foundry的產業分工模式，具備更顯著的市場競爭力和未來發展潛力，這一判斷源于對行業現狀、技術特性與產業規律的深度洞察，包括產業門檻、技術風險、材料工藝和規模效應等角度。

MRT光刻車間

● 降低行業準入門檻，適配初創企業特性：光通信領域多為初創企業，資金實力有限，而 IDM 模式需要動輒數十億、上百億的固定資本投入，且后期運營成本高昂，Foundry 模式讓設計企業無需承擔建廠成本，聚焦核心設計能力；

●規避技術路線風險：光通信領域技術路線多元（硅光、鈮酸鋰、磷化銦等），IDM 模式的大額固定資產投入易受技術路線迭代影響，而 Foundry 模式可靈活適配不同技術路線，應對市場變化；

● 發揮規模效應，控制成本：MRT的通用設備與工藝模塊，可服務多家設計企業，實現規模效應，有效降低單產品加工成本，而 IDM 模式的產能利用率難以保障。

●質量保證：MRT王輝還認為，MRT人員與工藝的穩定性是其作為Foundry代工平臺的核心競爭力和獨特價值。半導體設備可通過全球采購得來，但核心競爭力在于人：MRT平臺核心技術人員均擁有15年以上晶圓廠工作經驗，兼具IC與MEMS領域的工藝積累，這是量產穩定性的關鍵。

MRT光刻車間

產業開放：量產能力位居行業前列 即將推出專業化MPW服務

作為MRT重點薄膜鈮酸鋰客戶，南里臺科技于淑慧明確指出，良率和工藝量產能力是薄膜鈮酸鋰大規模商業化的核心。在AI算力驅動光通信升級的大背景下，薄膜鈮酸鋰的市場前景已無懸念，量產的突破才是產業發展的核心抓手。

南里臺開發的TFLN調制器芯片

于淑慧表示，南里臺科技今年即將完成通信領域典型客戶的芯片驗證，成功進入光通信產業鏈。2026年將是薄膜鈮酸鋰在通信行業的正式商用元年，南里臺作為Fabless廠商正與MRT緊密推進薄膜鈮酸鋰芯片的量產準備。MRT量產平臺出色的制造基礎設施、多顆產品批量出貨記錄以及核心團隊在頭部代工廠商十數年經驗積累，都將加速量產進度，比IDM廠商更早跨越良率低谷。

MRT與南里臺科技的合作正是量產能力突破的典型案例：雙方緊密協作，完成數十輪流片，實現產品多輪迭代，目前已完成客戶驗證，樣品性能穩定，成為國內 接近量產的薄膜鈮酸鋰代工及芯片廠商。這種“設計+代工”的協同模式，讓設計端以平均工藝水平迭代，而非實驗室最佳條件，確保了設計方案與量產能力的高度匹配。

MRT專業設備

為降低薄膜鈮酸鋰產業門檻，基于驗證成功的工藝平臺，MRT將于2026年4月正式推出MPW（多項目晶圓），包括劃片、端面拋光、測試和鍵合打線等后段工藝服務，為光通信芯片初創企業、科研團隊芯片項目提供薄膜鈮酸鋰專業化流片代工服務。這種服務一方面幫助客戶分攤高昂的掩膜和制造成本，另一方面幫助客戶縮短研發產品驗證周期。事實上，MPW服務高度考驗代工平臺的工藝水平，這里體現了MRT對自己工藝成熟度的高度自信。

觀點總結：Fabless設計+Foundry代工是薄膜鈮酸鋰商用化的必然路徑

從InP、硅光到薄膜鈮酸鋰，光通信光芯片材料迭代始終伴隨商業模式優化。作為全球同一起跑線賽道，薄膜鈮酸鋰為中國企業國產替代、搶占全球市場提供機遇。MRT與南里臺的實踐合作驗證了Fabless+Foundry分工模式契合薄膜鈮酸鋰產品特性、適配國內產業現狀，能凝聚產業合力。未來，隨著MRT鈮酸鋰光芯片PDK推出及行業協同發力，薄膜鈮酸鋰將加速從技術驗證走向規模量產，該分工模式將成為行業發展核心引擎和必然路徑，助力光通信開啟全新周期。

MRT團隊與ICC訊石合影

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