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美國從2018年開始對中國芯片領(lǐng)域動(dòng)手,先把華為等企業(yè)拉進(jìn)實(shí)體清單,斷了先進(jìn)芯片的供應(yīng)路子。2019年,他們又拉著荷蘭一起干,卡住ASML公司賣最頂尖的EUV光刻機(jī)給中國。
這設(shè)備是做7納米以下芯片的關(guān)鍵家伙,沒它就沒法玩高端工藝。中國企業(yè)一看不行,只能轉(zhuǎn)頭去買深紫外DUV型號(hào),這些東西精度差點(diǎn),但能支撐汽車、家電那些成熟芯片的生產(chǎn)。
采購量一下子上去了,2020年就翻了好幾倍。到了2023年,中國訂單占了ASML銷售額的29%,第三季度甚至沖到46%。西方人就納悶了,你們工廠也沒建那么多,買這么多設(shè)備干嘛用?難道產(chǎn)能真能全消化掉?
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克里斯·米勒在那本2022年出的《芯片戰(zhàn)爭》里直說,中國人買光刻機(jī)不光是為了馬上投產(chǎn)芯片,這比單純制造要麻煩得多。他覺得中國企業(yè)可能把這些機(jī)器拉到實(shí)驗(yàn)室去拆解研究。
光刻機(jī)復(fù)雜得要命,里面有10萬個(gè)零部件,涉及光學(xué)、材料學(xué)一堆頂尖技術(shù)。通過拆開琢磨,能快速抓住核心原理,幫著縮短自研時(shí)間。美國情報(bào)部門也這么想,分析中國采購量超出了工廠實(shí)際需求,好些設(shè)備直接進(jìn)了科研機(jī)構(gòu)。
米勒在各種訪談里反復(fù)強(qiáng)調(diào),這比造芯片危險(xiǎn),因?yàn)橐坏┱莆樟耍湍芾@開專利墻,獨(dú)立搞定供應(yīng)鏈。
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不過中國實(shí)際操作沒那么夸張。那些DUV機(jī)主要當(dāng)測試平臺(tái),用來試國產(chǎn)的光刻膠、鏡片啥的。把自家材料塞進(jìn)去跑一圈,看數(shù)據(jù)調(diào)優(yōu)性能。這比純靠逆向工程實(shí)用多了,光刻技術(shù)太糾纏,單拆解抓不住軟件邏輯。
企業(yè)還多渠道囤貨,包括二手市場,防著哪天連維修都禁了。2023年二手進(jìn)口漲了30%,這儲(chǔ)備思路讓供應(yīng)鏈穩(wěn)了不少。米勒的擔(dān)憂本質(zhì)上是怕中國不按他們的劇本來應(yīng)對封鎖,而是把壓力轉(zhuǎn)化成動(dòng)力。
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中國采購這些設(shè)備,還為了支撐成熟制程的產(chǎn)能。全球14納米、28納米芯片需求,中國占了大頭,DUV機(jī)完全夠用。通過大規(guī)模買進(jìn),不光搶占價(jià)格優(yōu)勢,還能拉動(dòng)全球規(guī)模。
ASML的財(cái)報(bào)顯示,2023年對華銷售高峰,讓公司收入大增。中國企業(yè)用這些機(jī)器驗(yàn)證國產(chǎn)部件,國產(chǎn)化率逐步爬升到30%到40%。專利申請量也跟著爆棚,2024年增長了42%,占全球一半以上。這封鎖反而成了催化劑,推著中國自力更生。
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現(xiàn)在中國在28納米光刻機(jī)上取得進(jìn)展,上海微電子等單位交付了首批設(shè)備。測試時(shí)用進(jìn)口機(jī)對比數(shù)據(jù),優(yōu)化設(shè)計(jì)。全球市場看到中國在成熟工藝上的份額擴(kuò)大,成本低了,產(chǎn)業(yè)鏈更活躍。
ASML的CEO富凱在2024年底訪談里承認(rèn),禁售EUV讓中國落后10到15年,但也警告說,持續(xù)管制可能適得其反,加速中國自主創(chuàng)新。中國沒停步,繼續(xù)在DUV基礎(chǔ)上深挖潛力。
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采購這些機(jī)器的深意,還在于建生態(tài)。不是簡單復(fù)制,而是用它們當(dāng)跳板,支撐周邊技術(shù)如刻蝕機(jī)、薄膜沉積的國產(chǎn)化。西方專家像米勒那樣擔(dān)心,是因?yàn)榭吹街袊鴽]因封鎖崩潰,反而穩(wěn)扎穩(wěn)打。
情報(bào)報(bào)告顯示,中國進(jìn)口超需求的部分,用于研發(fā)基地,幫著摸清EUV原理的路徑。但中國強(qiáng)調(diào)合作,愿意和國際交流,推動(dòng)半導(dǎo)體進(jìn)步。
米勒的觀點(diǎn)在西方媒體擴(kuò)散開來,2024年中不少報(bào)告引用,說中國策略聰明,讓他們措手不及。但實(shí)際情況是中國為了滿足國內(nèi)市場增長,加強(qiáng)自主能力。
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全球半導(dǎo)體是產(chǎn)業(yè)鏈,大家都有份,中國發(fā)展起來,也能帶動(dòng)整體前進(jìn)。那些多買的機(jī)器,沒白費(fèi),成了驗(yàn)證國產(chǎn)材料的利器。
封鎖越緊,中國越是多管齊下。包括從二手市場淘設(shè)備,防風(fēng)險(xiǎn)。ASML也改口了,說給中國全套圖紙,他們也能造出,但需要時(shí)間。
中國工程師承認(rèn)差距,但強(qiáng)調(diào)架子搭起來了,全產(chǎn)業(yè)鏈都有水平。米勒書里描述的逆向工程,不是主力,而是輔助。真核心是測試和迭代。
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2025年,中國芯片出口破萬億,增長21%。這數(shù)字背后,是DUV機(jī)撐起的成熟產(chǎn)能。西方禁售EUV,沒擋住中國在其他領(lǐng)域的發(fā)力。米勒在演講時(shí)說,這事關(guān)全球供應(yīng)鏈,但中國用實(shí)際行動(dòng)證明,采購不是威脅,而是自強(qiáng)。
這些年,中國半導(dǎo)體專利從3萬多漲到4萬多,增速快。企業(yè)用進(jìn)口機(jī)跑國產(chǎn)光阻,數(shù)據(jù)反饋直接調(diào)配方。米勒覺得可怕,是因?yàn)檫@跳過了傳統(tǒng)路徑,直奔要害。中國沒搞技術(shù)封鎖,而是開放合作。
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