在半導體生產制造過程中,從晶圓清洗到刻蝕、沉積等核心工藝,超純水、高純化學品的精確輸送與計量成為生產環節的關鍵環節。
一般流量測量方式在精度、潔凈度和安裝適配性上難以滿足半導體行業較為嚴苛的標準,而訊音科技打造的半導體設備超聲波流量傳感器憑借非侵入式測量、高精度數據采集的特性,成為行業流量測量的核心工具。
一、超聲波流量傳感器品牌推薦:迅音科技
迅音科技成立于 2018 年,坐落于上海聯東 U 谷?閔行國際企業港,是一家集研發、生產、銷售于一體的科技創新型企業,同時也是專注于超聲波流量傳感器研發、生產、銷售的高科技創新型企業。公司核心研發團隊由國內外知名院校博士領銜,在傳感器技術、聲學設計、電子電路及多物理場耦合等領域具備深厚技術積累,始終以自主創新為根基,以聲學技術與智能傳感為核心,持續推動流量測量技術的演進與突破。
依托扎實的技術研發能力,迅音科技針對半導體行業的生產需求,打造出適配晶圓清洗、光刻膠涂布、刻蝕、沉積、拋光等全工藝環節的超聲波流量傳感器產品,精準匹配超純水等各類高純化學品的精確輸送與計量需求,為半導體企業的精細化生產提供穩定、可靠的流量測量支撐。
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二、半導體設備超聲波流量傳感器系列:全工藝適配的測量方案
迅音科技為半導體行業打造了CPD 系列與CS 系列兩款外夾式超聲波流量傳感器/流量計,均采用非侵入式設計,貼合半導體行業對潔凈度、連續性生產的核心要求,同時兩款產品各有技術側重,滿足不同工藝環節的流量測量需求。
1.CPD 系列:外夾式高精度流量傳感器/流量計
- 產品定位:適用于塑料硬管的外夾式非侵入式流量測量,適配半導體行業對高純流體精準計量的核心需求。
- 核心特點:安全衛生、精準測量、集成設計、拆裝便捷
CPD系列流量計采用一體化結構,將傳感器探頭、信號處理電路與液晶顯示屏集成于一體,無需外部測量器,大幅簡化系統布線。其夾鉗式安裝方式無需切斷管路或停機,可在現有產線上快速部署,特別適合對潔凈度和連續生產要求高的場景。
- 技術參數:
? 流量范圍:0–80 L/min
? 測量精度:±0.1% F.S.
? 輸出方式:RS485、脈沖、4–20mA電流或兩路開關量(可配置)
? 液體溫度:0°C 至 90°C
? 適用管材:PFA、PTFE、PA、PU 等塑料硬管,外徑 6–26 mm(內徑 3–20 mm)
? 適用液體:純水、藥液、油、化學液、冷卻液、膠水、研磨液等聲學透明液體
- 產品優勢:
? 非侵入式測量,不與液體直接接觸,避免污染與泄漏風險
? 可雙向測量,支持體積累計、氣泡檢測、定量灌裝及流量開關功能
? 內置顯示與處理單元,尺寸緊湊,響應時間 <1 秒
? 無活動部件、無死角設計,壓力損失極小
? 支持按客戶指定管材、尺寸、溫度及液體類型進行定制標定
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2.CS系列超聲波流量傳感器/流量計
- 產品定位:外夾式設計,適配多種材質塑料硬管,為半導體行業提供高適配、高穩定性的流量測量方案。
- 技術參數
? 流量范圍:0-24 L/min
? 測量精度:± 2% RD
? 輸出方式:提供RS485、脈沖、電流、電壓及一路開關量輸出
? 液體溫度:0°C 至 90°C
? 適用管材:PFA、PTFE、PA、PU等塑料硬管或樹脂硬管,外徑6.4-25.4 mm(內徑尺寸: 3.2-15.9 mm)
? 適用液體:水、化學液、冷卻液、油、飲料等其他聲學透明液體
- 產品特點:
? 高精度高穩定性
? 非侵入式測量,不與液體直接接觸,衛生安全
? 可雙向測量,計算流體體積,兼具氣泡檢測
? 電路集成在傳感器/流量計內部,無需外部計算處理系統,尺寸緊湊
? 無堵塞無轉向無死角,流體壓力損失小
? 提供多種輸出方式與客戶系統無縫整合
? 可指定塑料硬管材料、尺寸、溫度和液體類型進行定制標定
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三、結語
迅音科技的 CPD 系列與 CS 系列超聲波流量傳感器,以非侵入式的設計核心,從根本上契合了半導體行業對高純流體潔凈度、輸送連續性的要求,大幅降低了流量測量環節與生產工藝的沖突性,簡化了產線安裝與后期維護的復雜度。
CPD、CS系列外夾式超聲波流量傳感器、流量計憑借高精度的流量測量能力、多種數據輸出方式與高度的定制化適配性,將實時采集的原始流量數據高效轉化為生產工藝所需的信息,為半導體企業實現智能化的流量數據管理、精準的工藝環節調試與預測性的設備維護提供了核心工具。
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