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散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州,
盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。
01
前沿導(dǎo)讀
通信行業(yè)觀察者項(xiàng)立剛在其個人賬號中對中國的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)進(jìn)行了點(diǎn)評,他在文中提到了當(dāng)年說華為不懂光刻機(jī)技術(shù)的中科院院士何作庥,并且評價何作庥的言論是極度的無知,甚至還公開指責(zé)某些高校專家、某科技日報的領(lǐng)導(dǎo),說其只知道一味地扯光刻機(jī)需要世界各國下功夫,實(shí)際上根本不懂光刻機(jī)的生產(chǎn)制造。
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參考資料: 中國的科技發(fā)展已是一通百通 https://user.guancha.cn/main/content?id=1542226
02
理論體系
早在2023年的時候,何作庥就針對芯片技術(shù)進(jìn)行了點(diǎn)評。其認(rèn)為制造芯片的設(shè)備與自己研究的氫彈技術(shù)在基本理論上面有很多共同點(diǎn),只不過芯片產(chǎn)業(yè)所需的理論問題更多。
荷蘭人搞明白了這些理論問題,所以制造出來了光刻機(jī)。而被美國制裁的華為公司不一定懂光刻機(jī)設(shè)備,大概率是拿別人的設(shè)備直接用。說具體一點(diǎn),華為這種類型的企業(yè)并不懂得理論研究的重要性和重大意義。
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針對何作庥院士曾經(jīng)的點(diǎn)評,中國通信產(chǎn)業(yè)觀察者項(xiàng)立剛在近期的個人平臺上面再次提及了該事情,并對何作庥院士的點(diǎn)評再次進(jìn)行了回懟,認(rèn)為其不是這個行業(yè)的從業(yè)者,對于芯片技術(shù)和制造設(shè)備了解不夠透徹,所發(fā)布的點(diǎn)評也是極度無知。
光刻機(jī)是美國針對中國企業(yè)重點(diǎn)限制的先進(jìn)制造設(shè)備,為了阻止中國企業(yè)獲得先進(jìn)的芯片,還下令不允許臺積電等第三方的晶圓工廠為大陸企業(yè)設(shè)計(jì)的芯片代工,以此來完全阻斷大陸地區(qū)的芯片技術(shù)發(fā)展。
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在美國剛開始卡中國脖子的時候,很多人并不會想到在未來幾年之后,中國不但制造出了先進(jìn)芯片,而且還逐步建立起完善的自主產(chǎn)業(yè)鏈。甚至是芯片的發(fā)明地美國,都不相信中國企業(yè)可以在被制裁的情況下發(fā)展先進(jìn)的制造技術(shù)。
盡管中國企業(yè)現(xiàn)階段的芯片依然需要靠ASML的光刻機(jī)進(jìn)行大規(guī)模制造,但中國的自主光刻機(jī)產(chǎn)品也在快速推進(jìn)中。
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2024年,中國工信部發(fā)布了國產(chǎn)干式光刻機(jī)設(shè)備。該設(shè)備對比上海微電子之前的SSA600系列光刻機(jī)來說,有著明顯的技術(shù)進(jìn)步。
在2025年深圳的灣芯展中,由上海微電子公司拆分出來的獨(dú)立公司芯上微裝在展會上發(fā)布了多款涉及化合物半導(dǎo)體以及后端封裝的光刻機(jī)設(shè)備。
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并且其工作人員對媒體記者表示,芯上微裝依托上海微電子公司的資源,已經(jīng)將自主制造的后端光刻機(jī)應(yīng)用到許多企業(yè)的生產(chǎn)線中,公司未來將會持續(xù)在前端的光刻機(jī)上進(jìn)行技術(shù)攻堅(jiān),最終實(shí)現(xiàn)商業(yè)化發(fā)展的目標(biāo)。
光刻機(jī)本質(zhì)上屬于商業(yè)設(shè)備,最終的目的是投入到生產(chǎn)線中制造芯片,創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)價值。
制造芯片并不是有了光刻機(jī)就行,還需要聯(lián)合芯片設(shè)計(jì)廠商、材料廠商、晶圓工廠彼此之間進(jìn)行配合,持續(xù)進(jìn)行產(chǎn)品的技術(shù)優(yōu)化,讓光刻機(jī)制造出來的芯片可以被放置在消費(fèi)電子產(chǎn)品當(dāng)中正常運(yùn)行。
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從產(chǎn)業(yè)發(fā)展的角度來看,光刻機(jī)和芯片產(chǎn)業(yè)并不是專注于理論研究的工作,需要聯(lián)合整個產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行發(fā)展。
03
制造產(chǎn)業(yè)鏈
根據(jù)我國工信部電子信息司所發(fā)布的工作動態(tài)顯示:
為推動十五五期間中國電子信息制造業(yè)的發(fā)展,電子信息司已派調(diào)研組趕赴華為公司。華為的多條產(chǎn)品線與電子信息制造業(yè)的發(fā)展密切相關(guān),調(diào)研組將會與華為公司的多條產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人進(jìn)行深度溝通,進(jìn)行十五五規(guī)劃的建議匯總。
參考資料: 工業(yè)和信息化部電子信息司赴華為開展“十五五”電子信息制造業(yè)發(fā)展規(guī)劃調(diào)研 https://www.miit.gov.cn/jgsj/dzs/gzdt/art/2025/art_7fb7ff90f0ff4dddb29be11a6b579010.html
先進(jìn)光刻機(jī)的核心設(shè)備就是光學(xué)系統(tǒng),涵蓋了光源、激光發(fā)射器以及反射鏡頭組。其中最難的地方,就是鏡頭組件。ASML的光刻機(jī)鏡頭由德國蔡司半導(dǎo)體部門獨(dú)家供應(yīng),全球僅此一家供應(yīng)商。
蔡司可以成為光刻機(jī)鏡頭的供應(yīng)商,一方面是因?yàn)椴趟臼莻€傳統(tǒng)做光學(xué)鏡組的公司,積累了大量技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。另一方面就是ASML在許多年前就通過股權(quán)出售的方法吸引蔡司入股,將產(chǎn)業(yè)鏈深度綁定。
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由蔡司制造的光刻機(jī)鏡頭,與產(chǎn)業(yè)鏈經(jīng)過了數(shù)十年的技術(shù)磨合才達(dá)到了量產(chǎn)商用的水平。
在此之前,蔡司的主業(yè)還是以制造顯微鏡鏡頭、相機(jī)鏡頭、視力用品為主。也正是因?yàn)椴趟居羞@些領(lǐng)域的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),才在后來有機(jī)會開發(fā)出光刻機(jī)的鏡頭組件。
而中國的光學(xué)鏡頭供應(yīng)商,也有舜宇光學(xué)、歐菲光等領(lǐng)軍企業(yè)。這些企業(yè)制造的光學(xué)鏡頭也被應(yīng)用在了工業(yè)顯微鏡、消費(fèi)電子產(chǎn)品、醫(yī)療設(shè)備等多個領(lǐng)域,并且也與本土的半導(dǎo)體企業(yè)達(dá)成了技術(shù)合作,共同推動國產(chǎn)制造設(shè)備的發(fā)展。
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未來的中國芯片產(chǎn)業(yè),將會以大型芯片公司和大型晶圓廠為核心,在此之上進(jìn)行國產(chǎn)制造流程的貫通,逐步解決被美國卡脖子嚴(yán)重的設(shè)備技術(shù)環(huán)節(jié)。
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