3月25日,SEMICON CHINA 2026在上海拉開帷幕,全球領先的移動操作機器人方案商優艾智合攜三款新品重磅亮相。
在優艾智合展臺,三臺移動操作機器人正在模擬的半導體工廠環境中協同作業。從取料到運輸再到對接放料,一整套完整的物料智能化流轉閉環躍然眼前。
這是優艾智合在本次展會上全球首發的三款新一代半導體具身智能移動操作機器人OW12-300、OW8-350、ATS6F。三款產品分別指向12寸晶圓全工藝段、8寸晶圓前道工程、跨潔凈度物料轉運三大場景,共同構成了覆蓋半導體全工藝鏈的工業物流解決方案。
效率革命:7×24小時不間斷作業
在半導體制造這樣一個對精度、潔凈度、穩定性要求近乎苛刻的行業里,優艾智合此次新品集中亮相,從效率、潔凈、連續作業三個維度發起一場“效率革命”。
OW12-300可兼容FOUP、FOSB、Metal CST等12寸晶圓制程的載具,實現工藝全覆蓋。OW8-350則應用于半導體前道工藝,可在650mm窄道通行。
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OW12-300
現場演示顯示,OW12-300和OW8-350均實現了最快25秒以內的空滿交換時間,這意味著物料對接節點上,移動操作機器人已經具備了與天車系統同量級的作業節拍,作為OHT的柔性補充,有效打通廠內物流瓶頸。
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OW8-350
效率革命的另一面,是連續作業能力。OW12-300搭載無線充電與雙電池,OW8-350則配備超大容量電池與雙側無線充電,兩者均支持在作業過程中同步補電,實現7×24小時不間斷運行,持續創造價值。
行業首創,破解跨潔凈區難題
此次發布的三款新品中,ATS6F的亮相尤其值得關注。這款專為長距離、高潔凈場景設計的新品,為優艾智合行業首創,機器人配備了艙內潔凈系統與自動密封技術,在萬級車間內可保障物料百級潔凈度,可實現跨潔凈度、跨區域的無界轉運。在連廊運輸場景中,ATS6F省去了無塵環境建設和專用軌道投入,以更低的綜合成本實現同樣嚴格的潔凈度要求,為半導體工廠的跨區物流提供了全新的高性價比選擇。
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ATS6F
ATS6F結合物料信息管理系統,保障物料運輸全流程中的安全和可追溯,讓機器人與生產系統深度融合,形成數據閉環,夯實物質流與信息流的基礎,已成為行業進一步升級的關鍵。
作為全球工業具身智能的先行者與領導者,優艾智合深耕最具增長潛力和場景適應性的移動操作機器人賽道,依托創新的“一腦多態”具身智能機器人解決方案,拓展移動操作機器人應用的深度和廣度,并在對產品與技術有著嚴苛要求的半導體和能源化工領域率先實現規模化應用,建立了領先優勢。相關數據顯示,以2024年收入計,優艾智合在全球工業移動操作機器人領域排名第一。
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