三星8.6代線玻璃基板破裂，遭遇靜電吸盤瓶頸

據透露，三星顯示器第8.6代有機發光二極管（OLED）生產線（A6）去年遭遇了嚴重的生產困難，主要原因是靜電吸盤（ESC）相關的工藝穩定性問題。有報道稱，由于靜電吸盤運行不暢，導致玻璃基板破裂。盡管今年隨著生產條件的改善，良率有所提升，但據報道，京東方等顯示器廠商仍在努力確保第8.6代工藝的良率穩定。

據業內人士透露，三星顯示器在去年年底之前建設第8.6代OLED生產線時，由于靜電吸盤的緣故，大面積基板的貼裝和脫裝工藝遇到了困難。靜電吸盤是一種利用靜電力將玻璃基板吸附到底板上的裝置；它是實現精確沉積的關鍵部件，能夠保持大面積基板的平整度。此外，它還能通過控制氦氣和溫度來保證溫度均勻性和貼裝/脫裝的穩定性。

尤其是在第8.6代OLED工藝中，靜電吸盤正成為決定量產穩定性的關鍵因素。這是因為基板尺寸增大，從現有的第6代OLED工藝（1500mm × 1850mm）增加到第8.6代OLED工藝（2290mm × 2620mm），需要控制重力引起的下垂。此外，由于OLED工藝需要在真空環境下沉積有機材料，因此需要同時保證基板的平整度、溫度均勻性和靜電控制；由此可見，靜電吸盤的重要性日益凸顯。

業內人士指出，在沉積前后，基板與靜電吸盤的貼合和分離過程中都存在問題。據報道，有些情況下，即使移除電壓，貼合在吸盤上的基板也無法順利分離；或者相反，不穩定的初始粘附會導致基板在過程中發生晃動和斷裂。穩定的基板附著需要精確控制靜電力、氦氣壓力和溫度條件；然而，如果為了增強附著力而提高電壓，殘留靜電可能會對薄膜晶體管 (TFT) 產生不利影響。也有人認為問題出在日本佳能特機 (Canon Tokki) 使用的沉積設備上。據報道，京東方 (BOE) 也正在努力解決這個問題。

有人擔心，如果這個問題得不到解決，可能會影響整個量產計劃。據業內人士透露，三星顯示器計劃于今年第二季度開始量產，并在下半年為蘋果 MacBook Pro 供應約 200 萬塊 OLED 面板。分析人士指出，如果制造工藝的穩定進程被延誤，可能會導致面板供應無法滿足客戶的交貨期。業內人士認為，即使在初始量產后同步進行良率提升，也很難完全排除交貨期延誤的可能性。

一位業內人士表示：“據我了解，三星顯示去年底在解決靜電吸盤問題期間，曾出現過玻璃基板破裂的情況。”另一位業內人士也表示：“據我了解，他們去年也遇到過與靜電吸盤相關的問題。”他補充道：“三星顯示采用的是‘半切’沉積工藝，即將基板切割成兩半，但基板尺寸仍然超過一米。用靜電吸盤固定如此大尺寸的基板本身就是一項非常復雜的技術。”

然而，據報道，三星顯示目前正在通過綜合調整氦氣壓力、靜電條件和溫度均勻性來穩定其工藝。據說良率已達到70%左右。盡管工藝有所改進，但分析師建議，在確保穩定的量產良率之前，切不可放松警惕。

另一位業內人士表示：“據我了解，他們目前正在通過調整壓力和氦氣用量來提高工藝穩定性。”他補充道：“由于他們并不一定需要達到80%的良率才能開始量產，因此他們似乎在持續投資8.6代生產線，并相信即使在進入量產階段后，他們也能逐步提高良率并解決問題。”

此外，IT OLED市場本身的增長率也是一個影響因素。分析師指出，由于市場擴張速度不及預期，三星顯示器別無選擇，只能采取較為保守的量產策略。

據業內人士透露，盡管近期高清顯示器需求的增長提高了人們對IT OLED市場的預期，但實際擴張速度依然緩慢。因此，京東方和維信諾等中國企業正在投資8.6代OLED技術。然而，人們擔心，如果市場擴張未能支撐這一趨勢，可能會導致供應壓力。

尤其值得注意的是，市場滲透率仍然很低，這被認為是一個制約因素。根據UBI Research的數據，平板電腦、筆記本電腦和顯示器的OLED采用率分別為5.9%、4.4%和2.0%，表明OLED主要應用于高端產品。UBI Research分析指出，“與LCD相比，價格競爭力的壓力依然很大。”

一位業內人士表示：“據我了解，他們正在考慮調整量產速度，因為IT OLED市場的規模仍然比預期要小。”他補充道：“盡管IT市場向OLED轉型的需求顯而易見，但目前OLED的應用僅限于高端產品，因此他們必須考慮市場狀況。”三星顯示器一位負責人表示：“某些方面聲稱由于工藝問題導致量產計劃受阻的說法毫無根據。”他補充道：“目前，用于IT應用的OLED生產線建設進展順利，我們將按原計劃開始量產。”

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