中國造不出光刻機？中科大副院長：美國造不出，中國永遠都不可能

2024年9月那段時間，網(wǎng)上一段采訪直接炸了鍋，說這話的是中科大前副院長朱士堯。一句“美國都單獨造不出頂級光刻機，中國永遠也不可能”甩出來，網(wǎng)友直接吵翻了天。有人說老專家講真話戳破了泡沫，有人說這是潑冷水故意打擊士氣。

朱士堯本身就是實打?qū)嵉目蒲谐錾恚?944年生在上海嘉定，1963年考進中科大原子核物理專業(yè)。他畢業(yè)之后直接留校搞研究，長期深耕等離子體物理和受控核聚變領域。從業(yè)多年他發(fā)過不少核心論文，還出過三本專業(yè)著作，在業(yè)內(nèi)認可度很高。

他還先后在海外頂尖科研機構待過，去美國威斯康星大學做過三年訪問學者，又去荷蘭做過一年半訪問教授。1997年開始他擔任中科大研究生院副院長，一當就是七年，對國內(nèi)外科研產(chǎn)業(yè)的門門道道都摸得門清。

2005年剛退休他就被華為請去當黨委副書記，干了整整十年，專門研究企業(yè)文化。等于從一線科研到高校管理再到頭部科技企業(yè)的運作，他全走了一遍。說這話根本不是瞎站隊蹭熱度，是實打?qū)嵉目珙I域經(jīng)驗打底。

他說的其實是頂級EUV光刻機的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)實，這玩意兒根本不是哪個國家能單槍匹馬搞定的。一臺EUV光刻機就重180多噸，里面光零件就超過十萬個，涉及光學、真空、精密機械好幾個大類的頂尖學科。得靠全球幾十個國家上千家公司湊供應鏈才能攢出來，缺了任何一環(huán)都不行。

現(xiàn)在全球唯一能量產(chǎn)EUV的就是荷蘭的阿斯麥，可它自己也攢不出100%國產(chǎn)化的整機。核心光學鏡片要靠德國蔡司，激光光源最早是美國公司的技術，材料主要靠日本，高精度零件還有韓國、荷蘭本地的供應商。它自己都公開說過，要搞完全自主的全自產(chǎn)整機根本辦不到。

阿斯麥能走到今天也不是一蹴而就的，1984年飛利浦和ASM合資成立，早期差點破產(chǎn)熬不下去。后來轉(zhuǎn)做掃描式光刻機，2000年后砸大錢搞EUV技術，2018年才開始給臺積電、三星、英特爾交付商用EUV。四十多年的專利和技術迭代，還有和供應鏈、客戶綁定的生態(tài)，才堆起現(xiàn)在的高壁壘。

它每年的研發(fā)投入都高得嚇人，2025年研發(fā)投入超過47億歐元，還跟上下游的供應商、客戶一起迭代技術。現(xiàn)在的高NA EUV能減少多重曝光，降低缺陷還能縮短生產(chǎn)周期，實用性拉滿。2025年雖然因為出口管制中國區(qū)銷售額降了，但全球邏輯芯片和存儲芯片的需求拉著EUV銷量還在漲。

阿斯麥2026年的營收指標是340到390億歐元，毛利率在51%到53%之間，還計劃裁1700人優(yōu)化結(jié)構。現(xiàn)在它已經(jīng)是歐洲市值排在前列的科技公司，技術壁壘不是隨便哪個國家靠閉門造車就能追上的。全球供應鏈的現(xiàn)實就是一環(huán)扣一環(huán)，誰也離不開誰。

朱士堯也不是故意潑冷水唱衰國產(chǎn)，他說中國半導體起步晚，跟美國的基礎差距可能有50到100年，單靠自己悶頭搞難度太大。他就是想提醒大家別光喊空口號，得認清楚全球供應鏈的現(xiàn)實，別忽略產(chǎn)業(yè)發(fā)展的客觀規(guī)律。腳踏實地搞研發(fā)搞合作，比喊什么“彎道超車”靠譜多了。

這話吵得最兇的時候剛好是海外封鎖最嚴的階段，2022年10月美國商務部出了新規(guī)，擴大了外國半導體相關產(chǎn)品的管制范圍。2023年底荷蘭又禁售先進深紫外光刻機，國內(nèi)的產(chǎn)線和實驗室都在加班加點優(yōu)化參數(shù)，囤貨的集裝箱都堆得滿滿當當。

但咱們也沒躺平等著卡脖子，上海微電子2002年就成立了，專門攻國產(chǎn)光刻機的研發(fā)。上世紀90年代咱們的光刻機還全靠進口，2010年后國家加大了支持力度，北京、深圳也陸續(xù)建了相關的研究中心。一步步攢自己的技術家底，沒想著一口吃成胖子。

2016年上海微電子拿出了90納米級的設備，總算是邁出了自主生產(chǎn)的第一步。2024年工信部發(fā)布的目錄里，已經(jīng)列進去了65納米分辨率的國產(chǎn)氟化氬光刻機。現(xiàn)在這款設備主要用在汽車電子、消費芯片這些成熟領域，已經(jīng)實現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，國內(nèi)市場占率超過80%。

2025年的進展更是肉眼可見，上海微電子的28納米浸沒式深紫外光刻機已經(jīng)交付給中芯國際。第一臺在2024年底到2025年初進入驗證階段，套刻精度達到1.9納米，良率慢慢爬到了90%。各項參數(shù)都達到了商用標準，夠得上國內(nèi)大部分產(chǎn)線的需求。

這臺設備的關鍵部件國產(chǎn)化率超過85%，光源用的是北京科益虹源的60瓦ArF準分子激光，穩(wěn)定性達到99.99%。工件臺是北京華卓精科的，精度1.7納米，鏡頭和光學件由北京國望光學和國科精密供應。北方華創(chuàng)這些企業(yè)也同步供貨，上海、北京、深圳的本土供應鏈已經(jīng)慢慢連成片了。

現(xiàn)在28納米機型已經(jīng)在產(chǎn)線跑片，支持多重曝光能往7納米制程靠，雖然光源功率還比阿斯麥同代的產(chǎn)品低一些，但用在成熟制程上完全夠用。極紫外領域咱們還在做專利積累和原型驗證，2026年有量產(chǎn)計劃，短期內(nèi)還是以深紫外的國產(chǎn)替代為主。一步步穩(wěn)扎穩(wěn)打，沒搞什么大躍進。

現(xiàn)在咱們也不是完全硬扛著不買進口設備，2025年全年中國從阿斯麥進口的光刻機金額占它全球銷售額的33%，差不多80多億歐元，折人民幣六百多億。這筆進口額占中國進口光刻機總額的90%左右，剩下10%是日本尼康、佳能的設備。一邊買能用的成熟設備救急，一邊搞自己的技術替代，節(jié)奏踩得很穩(wěn)。

參考資料：

人民日報 中國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展年度報告

光明網(wǎng) 國產(chǎn)光刻機技術進展跟蹤報道

工信部 高端裝備制造業(yè)發(fā)展目錄