【環球網科技綜合報道】2月5日消息,由極鉬芯科技聯合南京大學在二維半導體領域近日取得重大技術突破,相關成果再度登上國際頂級學術期刊《Science》。這是雙方三個月內第二次斬獲該領域頂尖學術認可,標志著我國成功攻克二維半導體量產化的生長動力學調控瓶頸,實現了從"單晶制備"到"可量產化"的關鍵跨越,為打通實驗室技術到產業應用的核心環節奠定了堅實基礎。
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此次突破聚焦產業化工藝核心難題,研發團隊創新性地推出定制化Oxy-MOCVD 200 ultra設備,構建"氧輔助預反應動力學調控"與"無氫低碳硫源輸運"雙系統,從源頭重構生長環境,徹底破解了二維半導體晶疇尺寸小、生長速率低、碳污染等量產關鍵瓶頸。這一技術升級實現了從"實現生長"到"優化生長"的戰略升維,此前雙方已于2025年10月突破襯底工程,成功實現6英寸單晶普適制備。
兩項核心突破共同構建起自主可控的完整產業化技術閉環,形成驅動二維半導體產業化的"雙引擎"。在裝備自主化方面,此次采用的Oxy-MOCVD設備實現100%國產化,驗證了我國高端半導體裝備從"自主可用"向"引領定制"的跨越式發展;在技術應用方面,經調控后的二維半導體材料在均勻性、純度及電學性能上實現質的提升,可無縫對接下一代埃米級芯片、柔性顯示等高需求場景,將大幅縮短材料到芯片的產業化進程。
在全球競逐后摩爾時代技術制高點的背景下,該成果彰顯了中國在前沿科技領域的全鏈條創新實力。研發團隊通過"工藝與設備深度協同"的原創模式,完成了從原理創新、技術實現到裝備定義的全鏈條突破,印證了我國在二維半導體材料和設備研發領域的引領地位。(純鈞)
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