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光刻機巨頭,轟然“倒塌”

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近日,日本光學巨頭尼康(Nikon)發(fā)布了其歷史上最為慘烈的虧損預警——預計2025財年將出現850億日元的巨額虧損,創(chuàng)下公司自1917年創(chuàng)立以來的百年最差紀錄。

其核心的光刻機業(yè)務遭遇全線潰敗,讓昔日光刻霸主正陷入空前生存危機。

援引多處報道顯示:過去半年,尼康光刻機僅出貨9臺,且全部為技術含量較低的成熟制程老款設備,技術代際明顯滯后。

這意味著,這家曾經與英特爾、AMD深度綁定、制定行業(yè)標準的王者,在先進制程領域已徹底失去競爭力。尼康不僅未能承接住這一波AI算力爆發(fā)的紅利,反而因訂單大幅萎縮和庫存積壓,陷入了前所未有的財務泥潭。

與之形成刺眼對比的是,2025年荷蘭ASML狂賣327臺,僅高端EUV光刻機就出貨48臺,占據全球高端市場絕對主導地位。

一個時代的轉折點

曾與ASML、佳能并稱“光刻機三巨頭”的尼康,2001年時還占據全球光刻機市場約40% 份額,全球幾乎每兩臺光刻機中就有一臺產自尼康。這家當時被芯片巨頭們競相追捧的對象,如今市占率已跌至個位數,市場競爭力幾近歸零。

從巔峰到谷底,尼康的墜落并非一夜之間。它的命運轉折,恰好映照出全球光刻機市場三十來年的風云變幻,也向業(yè)界拋出一個殘酷的問題:當行業(yè)老大一騎絕塵,曾經的王者該如何自處?當技術路線被對手鎖死,后來者還有沒有翻盤的機會?

從巔峰到谷底,尼康的潰敗之路

尼康光刻機的“黃金時代”

要理解尼康的隕落,得先回到它的光輝歲月。

尼康的光刻機業(yè)務起步于上世紀70年代,依托其在相機鏡頭領域的核心技術優(yōu)勢,快速切入半導體光刻設備市場。

彼時,全球半導體產業(yè)正處于快速崛起的初期,芯片制程從微米級向納米級逐步邁進,光刻設備作為芯片制造中最核心、最復雜的設備,成為各大企業(yè)爭奪的焦點。

憑借精準的市場判斷和領先的光學技術,尼康迅速在光刻機市場站穩(wěn)腳跟,并在上世紀80年代迎來爆發(fā)。

當時,尼康推出的193nm波長干式光刻機,憑借超高的分辨率和穩(wěn)定性,成為全球芯片廠商的首選設備,一舉主導了193nm干式光刻時代的市場。

據行業(yè)數據顯示,在1990年代中期,尼康的光刻機全球市場份額一度突破50%,與佳能平分秋色,兩者合計占據全球光刻機市場90%以上的份額,形成了“日企雙雄”壟斷的格局。

這一時期的尼康,最核心的競爭力在于與全球頂尖芯片企業(yè)的深度綁定。

當時,英特爾、AMD等美國芯片巨頭,正全力推進CPU制程的升級,而尼康的光刻機,憑借穩(wěn)定的性能的領先的技術,成為這些企業(yè)的核心供應商。尼康為英特爾量身定制的光刻設備,完美匹配其CPU的生產需求,幫助英特爾在與AMD的競爭中占據優(yōu)勢。

據悉,從英特爾、AMD、IBM到德州儀器,全球芯片巨頭為了求得一臺尼康光刻機,不惜成立對接團隊常駐尼康硅谷分部,只為爭取優(yōu)先供貨權。坊間甚至流傳,有半導體老板親赴尼康工廠蹲點,預付全款只為求一個調試名額。這種深度綁定,也讓尼康獲得了穩(wěn)定的訂單和豐厚的利潤,進一步鞏固了其行業(yè)地位。

除了綁定美國巨頭,尼康在日本本土也擁有強大的客戶基礎。索尼、東芝、日立等日本半導體企業(yè),均是尼康的核心客戶,這種“本土協同”的優(yōu)勢,讓尼康在全球市場中如虎添翼。

在巔峰時期,尼康的光刻機不僅是技術的標桿,更是行業(yè)標準的制定者,其推出的光刻技術規(guī)范,被全球多數芯片廠商采納。

在尼康的鐵騎之下,美國光刻機鼻祖GCA被迫宣告破產;彼時的ASML,也還只是一個在歐洲市場掙扎、市場份額不足10%的小廠商,根本無法與尼康相提并論。

在當時,尼康可謂風光無限,其輝煌程度甚至超過如今的ASML。

光刻業(yè)務成為集團的核心盈利支柱,帶動相機、望遠鏡等其他業(yè)務共同發(fā)展,尼康也一度成為日本制造業(yè)的驕傲,被視為技術立國的典范。

沒有人會想到,這樣一個站在行業(yè)頂端的王者,會在短短二三十年后,陷入如此艱難的境地。

三重失誤,一步步錯失時代浪潮

轉折發(fā)生在2002年。

那一年,時任臺積電資深處長的林本堅,敲開了尼康的大門。針對當時193nm干式光刻機遭遇瓶頸、下一代157nm光源研發(fā)進展緩慢的局面,林本堅提出了一個顛覆性設想:在鏡頭與晶圓之間注入一層水。利用水的折射率,可以將193nm光源的等效波長縮短至134nm,從而繞過157nm路線的諸多難題。

這就是后來改變半導體歷史的浸沒式光刻技術路線。

這本來是一條成本更低、效果更好的捷徑,卻遭到尼康幾乎所有高管的反對。從會長到技術帶頭人,甚至沒有人有耐心細聽林本堅的解釋。尼康的代表當場質問:“如果水污染了鏡頭,你們臺積電賠得起嗎?如果氣泡導致批量報廢,這個責任誰擔?”

更深層的原因在于路徑依賴。當時尼康已經在157nm干式光刻機上投入了超過數億美元。轉攻浸沒式路線,意味著此前投入全部打水漂。

據華商韜略報道:尼康不僅拒絕了林本堅,甚至試圖利用自己的行業(yè)威望來封殺這個構想。據林本堅后來回憶,尼康高層曾給臺積電研發(fā)副總蔣尚義打電話稱:“請管好你們的林本堅,不要讓他到處推銷這種破壞行業(yè)共識的構想,這會讓大家分心并浪費資源。”

在尼康碰壁后,林本堅飛往荷蘭。

彼時的ASML尚在夾縫中求生,急需破局機會。ASML的技術靈魂馬丁·范登布林克(Martin van den Brink)力排眾議,將ASML所有資源押注在這個瘋狂的想法上。

2004年,ASML與臺積電合作推出世界上第一臺浸潤式光刻機ArFi,憑借更高的精度和更低的成本橫掃全球市場。

2007年,ASML市占率突破60%,首次形成碾壓態(tài)勢;2010年后,ASML市占率突破70%,尼康、佳能被徹底拉開差距。

尼康引以為傲的頂級鏡頭,在新的技術路線面前瞬間失色。尼康和佳能被迫放棄157nm路線轉而跟進浸沒式,但早已為時過晚。在浸沒式ArF光刻領域,ASML憑借其成熟的TWINSCAN雙工件臺技術已牢牢掌握九成以上的市場份額。

這是一場教科書級的技術誤判。尼康并非沒有技術能力,而是被自己的成功經驗禁錮,對體系之外的新技術有一種天然的排斥。

然而,浸沒式的失利只是開始,尼康真正的“滑鐵盧”還在后面。

面對浸沒式光刻機戰(zhàn)役的慘敗,尼康將希望寄托于下一代技術:EUV(極紫外光刻)。這種波長更短(13.5nm)、能夠在芯片上雕刻更微小電路的技術,被其視為重返巔峰的關鍵一役。

時任尼康光刻機技術負責人的馬立稔和,立下雄心壯志:全自研、全日本產。他試圖在封閉的墻內,復刻那個精密制造征服世界的時代。

同時,已失去芯片霸主地位的日本政府也傾力支持,將其視為國運之戰(zhàn)。以經濟產業(yè)省為主導,日本構建了一個龐大的“產官學”聯合體,投入數百億日元資金,聯合尼康、佳能、東京電子、信越化學等產業(yè)鏈企業(yè),共同攻關。

這是一次典型的日本式沖鋒:資源集中,目標單一。

但此時,世界已經變了。

就在尼康傾力EUV項目的2012年,ASML接到了來自英特爾、三星、臺積電的首次大規(guī)模戰(zhàn)略投資。三大客戶共同出資,幫助ASML加速研發(fā)EUV,同時建起了自己的EUV聯盟。這個聯盟不僅捆綁了全球最頂尖的芯片制造商,還集結了德國蔡司(鏡頭)、美國Cymer(光源)等全球最強的產業(yè)鏈企業(yè)。

這種"垂直合作"模式讓ASML能夠集中資源于系統集成與核心技術突破,而非面面俱到。

這也是尼康失敗的深層原因之一。

長期以來,日本企業(yè)篤信全自研的生產模式,核心零部件(透鏡、光源、精密機械)均選擇高度自研。這種“垂直整合”在技術迭代慢的時代能保證極致品質,但當EUV這種需要全球高度協作的行業(yè),研發(fā)費用動輒百億美金、涉及10萬個零部件的“人類工業(yè)巔峰”到來時,尼康發(fā)現,它早已無力支付這張入場券。而ASML“利益捆綁、風險共擔”的選擇了使其走向了完全不同的道路。

更要命的是,曾經在芯片上吃過日本大虧的美國,以國家安全為由,將尼康、佳能等日系廠商排除在EUV技術聯盟之外,切斷了它們獲取美國頂尖技術的通道。

至此,尼康的“全自研”,變成了“閉門造車”。

截止2018年,尼康在EUV項目上的投資據估算超過千億日元,堪稱公司歷史上最大單筆技術押注。但這筆投入換來的,僅是一臺無法商用的原型機。當ASML的EUV光刻機早已在臺積電產線上瘋狂迭代時,尼康的原型機依舊在實驗室吃灰。

當2018年臺積電宣布7nm制程量產時,ASML憑借EUV壟斷了全球90%的高端光刻機訂單,形成沒有替代品的技術霸權。

最終,尼康公司不得不宣布:終止EUV光刻機的商業(yè)化開發(fā)。

除了技術路線的連環(huán)誤判,尼康在市場策略上也犯下致命錯誤。它過度押注單一巨頭英特爾。2024年,英特爾因巨額虧損大幅削減資本開支,直接導致尼康訂單暴跌。同時,尼康未能及時拓展臺積電、三星等核心芯片廠商,訂單缺口無從填補。

外部政策環(huán)境更是雪上加霜。過去五年,中國曾是尼康最大的"救命稻草"。隨著大陸晶圓廠擴產,尼康精密設備對華銷量占比一度超過40%。

然而,在美國對中國實施半導體設備出口管制時,尼康選擇了緊跟美國步伐,放棄合作機會,導致尼康設備交付延誤、成本飆升,中國客戶紛紛轉向國產替代,進一步擠壓其生存空間。《日經亞洲》曾對此指出,中國已成全球第三個擁有完整光刻機制造能力的國家,尼康再想憑高價舊款分羹,早已錯失良機。

2025年9月,尼康關閉了運營58年的橫濱工廠,標志著其光刻機業(yè)務進一步收縮。而70歲的馬立稔和即將卸任。從技術帶頭人一路走到權力巔峰,這位尼康老將曾試圖以一己之力挽回昔日榮光,但終究力有不逮。

ASML:從“守成”到“進攻”

在尼康一步步走向潰敗的同時,ASML則從一個行業(yè)追隨者,已成長為全球光刻機市場的絕對霸主。

在高端光刻機領域。ASML的壟斷地位無人能及。尤其是EUV光刻市場,ASML更是一家獨大,掌控著7nm及以下先進制程芯片制造的“咽喉”,無論是臺積電、三星,還是英特爾,都依賴ASML的EUV光刻機。

據統計,ASML在EUV光刻機市場的份額達到100%,在高端DUV光刻機市場的份額也達到90%以上,形成了堅實的技術壁壘和市場護城河。這構成了它的“現金牛”和壟斷根基。

ASML并未止步于此。

隨著摩爾定律逼近物理極限,單純依靠晶體管微縮來提升芯片性能的成本越來越高,難度越來越大。產業(yè)界將目光投向了另一個方向:先進封裝。

隨著芯片制程不斷逼近物理極限,先進封裝技術成為提升芯片性能的重要路徑。這正是英偉達的H100/B200等AI芯片所依賴的核心技術——臺積電CoWoS、InFO等封裝技術的重要性由此凸顯。

ASML敏銳地意識到:僅控制“前道制造”,或許已不足以主導未來。如果能夠在先進封裝設備領域占據優(yōu)勢,就能夠從“前道制造”延伸至“后道封裝”,實現對整個芯片制造流程的掌控,進一步擴大自己的市場份額,鞏固行業(yè)霸權。

于是,ASML轉向“進攻”,開始向先進封裝設備領域進行布局和探索。

正可謂,當對手還在泥潭時,贏家已經開始重新定義新戰(zhàn)場。

2025年10月,ASML邁出實質性步伐,推出首款先進封裝光刻機 TWINSCAN XT:260,正式進軍先進封裝市場。

這款設備采用365nm i線光源,實現400nm分辨率圖案化,主要應用于RDL、TSV等關鍵工序。其套刻精度達±1.2nm,較前代提升52%,生產效率達每小時270片晶圓,較前代提升4倍。

TWINSCAN XT:260的推出,標志著ASML正式進入先進封裝設備市場,而其憑借光刻設備領域積累的技術優(yōu)勢和品牌影響力,迅速獲得了市場的認可。據業(yè)內消息,臺積電、三星等核心客戶已經紛紛下單,訂購ASML的先進封裝光刻機,用于其Chiplet技術的研發(fā)和量產。

但這或許只是開始。

近日,據業(yè)內人士消息透露,ASML已著手研發(fā)混合鍵合機臺,并攜手EUV光刻機磁懸浮系統組件供應商Prodrive、VDL-ETG等合作伙伴聯合推進。混合鍵合是下一代3D集成的核心技術,能夠實現銅對銅的直接鍵合,省去凸塊,大幅提升互聯密度。

能看到,ASML正試圖將光刻機的技術壁壘——精密對準、高精度運動控制——復制到后道設備,搶奪原本屬于Besi、應用材料等設備廠商的蛋糕。

ASML首席技術官Marco Pieters此前曾公開表示,公司會持續(xù)研判半導體行業(yè)的長期發(fā)展趨勢,重點關注封裝、鍵合等領域所需的設備基座研發(fā),為布局相關業(yè)務做好技術儲備。

ASML的出擊釋放出一個明確信號:設備巨頭之間的戰(zhàn)爭,已從單一工序演變?yōu)閷φ麄€芯片制造流程的鏈式競爭。誰能提供從前道到后道的系統級解決方案,誰就能在下一輪產業(yè)洗牌中掌握更大話語權。

佳能:

偏安一隅,在夾縫中尋找“奇點”

在尼康潰敗、ASML稱霸的格局下,佳能選擇了第三條路。

作為三巨頭之一,佳能同樣錯失了EUV時代。但它沒有像尼康那樣在高端市場硬碰硬,佳能很清楚,在波長競賽上它已無法追上ASML,而是務實轉身,聚焦差異化生存。

一方面,佳能深耕成熟制程光刻機市場。依托在光學領域的積累,佳能提供高性價比的產品,穩(wěn)守i-line、KrF等成熟制程市場這一基本盤,使其在二、三線晶圓廠中擁有極高的忠誠度。雖然技術層級低于ASML的EUV和ArFi設備,但佳能穩(wěn)守利基市場,在功率器件、傳感器、顯示驅動、先進封裝等成熟制程領域活得滋潤。

另一方面,佳能正在進行一場新的探索:納米壓印(NIL)。

這項技術的原理與光學光刻完全不同,NIL不使用復雜的光學系統將圖案投影到晶圓上,而是像蓋章一樣,直接將帶有電路圖案的模板壓印在晶圓的光刻膠上,再用紫外線固化。

理論上,納米壓印優(yōu)勢顯著:分辨率可媲美甚至超越EUV,成本僅為EUV系統的十分之一,單片制程成本約為EUV的四分之一;能耗更是降低九成以上——EUV整機功率可達1兆瓦,而NIL僅需約100千瓦。

佳能于2014年收購了納米壓印公司Molecular Imprints Inc.,推出自有技術品牌J-FIL。2023年10月,佳能正式推出FPA-1200NZ2C納米壓印光刻系統,宣稱可用于生產5nm芯片,未來甚至有望下探至2nm。SK海力士已從佳能引進納米壓印設備,計劃用于3D NAND閃存量產。

這是對EUV體系的徹底繞過,如果納米壓印能在對缺陷率包容度較高的存儲芯片領域率先大規(guī)模量產,佳能或將能直接改寫游戲規(guī)則。

然而,納米壓印的商用之路依然布滿荊棘,模板壽命與缺陷控制是該技術面臨的兩大核心難題。

由于模板直接接觸晶圓,其上的納米級結構極其脆弱。目前量產測試顯示,模板壽命僅能支撐壓印約50片晶圓,遠不及光學掩模的10萬片級壽命。佳能聲稱新設計可延長十倍,但業(yè)界實測仍不理想。

更致命的是缺陷復制問題:模板上任何微小缺陷都會被復制到所有晶圓上,造成嚴重的重復缺陷。而要檢測模板缺陷,所需設備產能相當于全球掩模檢測設備一整年的供應量,經濟效益明顯不符。

此外,NIL的套刻精度與產能仍落后ASML的EUV系統。由于佳能采用單晶圓臺架構,無法同時執(zhí)行測量與壓印,最高產能僅約每小時25片晶圓。

正如業(yè)界形容:“NIL就像一只設計完美的精密鐘表,性能與成本都遠勝競品,但關鍵齒輪卻是玻璃制的——看似完美,卻撐不過實際運轉。”

佳能顯然意識到這一點,仍在持續(xù)投入研發(fā)。

2026年1月,佳能宣布在世界上首次開發(fā)并實際應用了一種名為IAP(噴墨自適應平坦化) 的突破性晶圓平坦化技術,利用納米壓印技術積累,可將300mm晶圓表面的地形起伏控制在5nm以內,計劃2027年商用。這可以視為納米壓印技術的衍生應用,繞開核心難題,先在細分領域尋找突破口。

佳能的路徑給行業(yè)一個啟示:當主流技術路線已被巨頭壟斷,后來者未必需要正面硬剛。在夾縫中尋找技術奇點,圍繞長尾客戶構建差異化競爭力,同樣可以贏得生存空間。

復盤與啟示:光刻機戰(zhàn)場的規(guī)則變了

復盤全球光刻機三巨頭的發(fā)展路徑,不難發(fā)現,如今的光刻機市場,已經形成了“ASML稱王,佳能偏安,尼康掉隊”的格局。

三家企業(yè)的命運沉浮,折射出全球光刻機行業(yè)的深刻變革,釋放出諸多值得深思的信號,也為行業(yè)內的其他企業(yè),提供了寶貴的啟示。

企業(yè)基因的博弈

尼康和佳能的困境,在很大程度上反映了日本制造業(yè)在面臨顛覆式技術變革時的共性問題——路徑依賴與完美主義。

日本企業(yè)在技術研發(fā)上,往往追求極致的完美,一旦投入資源研發(fā)某一種技術路線,就很難輕易放棄,這種“路徑依賴”,讓其在面對新的技術浪潮時,難以快速調整戰(zhàn)略,最終錯失機遇。

尤其是在顛覆性技術面前,過往的成功經驗往往是最大的包袱。

尼康在浸沒式技術面前的遲疑,本質上是對自身“垂直整合”模式的自信——核心部件全部自研,才能保證絕對品質。但當光刻機的復雜程度呈指數級上升時,這種封閉體系反而成為創(chuàng)新阻礙。沒有任何一家公司能夠獨自掌握所有尖端技術。

ASML的成功,恰恰得益于其開放與協作。

ASML敏銳地捕捉到技術變革的趨勢,快速調整技術路線,與全球頂尖供應商展開深度合作,構建了龐大的產業(yè)鏈生態(tài)。這種開放的協作模式,讓ASML能夠集中精力專注于核心技術的整合與優(yōu)化,同時借助全球資源,快速提升產品性能,降低研發(fā)成本,最終實現了行業(yè)壟斷。這種開放協作建立的生態(tài)系統優(yōu)勢,或許比單打獨斗更難被復制。

這背后,是企業(yè)基因的差異。日本企業(yè)的“垂直整合”基因,強調自給自足、精益求精,在技術相對穩(wěn)定的時代,能夠發(fā)揮優(yōu)勢;但在技術快速迭代、復雜度不斷提升的今天,這種基因反而成為創(chuàng)新的阻礙。ASML的開放協作基因,強調資源整合、靈活應變,更適應新時代的行業(yè)發(fā)展趨勢。

此外,ASML的成功,還得益于其持續(xù)創(chuàng)新的基因。在壟斷高端光刻機市場后,ASML并沒有固步自封,而是敏銳地捕捉到先進封裝技術的機遇,加速跨界布局,從單一的光刻設備供應商,向全流程半導體設備供應商轉型,持續(xù)擴寬自己的護城河。

不過,佳能在錯失機遇后,相比尼康展現出更強的戰(zhàn)略靈活性。它沒有固守傳統光刻技術,而是聚焦差異化選擇,探索新路徑,發(fā)展長尾客戶,在夾縫中獲得了自己的生存空間。這種"知進退"的智慧,值得其他非頭部廠商借鑒。

競爭維度升維:從“單機”到“生態(tài)”

光刻機的戰(zhàn)爭暫時可能已經結束,但半導體設備的戰(zhàn)爭才剛剛開始。

ASML向先進封裝的擴張,標志著設備巨頭之間的競爭維度已經升級。當光刻機市場的勝負已定,ASML開始利用其在精密對準、高精度運動控制領域的技術壁壘,向后道設備延伸,試圖構建從“前道制造”到“后道封裝”的全流程解決方案。

據Yole Group預測,全球先進封裝市場規(guī)模將從2024年的380-460億美元增長至2030年的790-800億美元,年復合增長率達9.4%-9.5%。

這一增量市場,將成為設備巨頭們爭奪的新戰(zhàn)場。

這也意味著,未來的半導體設備市場,競爭將不再是單點突破,而是系統級的技術整合能力,將從單一環(huán)節(jié)開始向全流程布局轉型。誰能提供更完整的解決方案,幫助客戶降低系統復雜度、縮短上市周期,誰就能在下一輪競爭中占據主動。

另外還值得注意的是,地緣政治因素也將深刻影響未來半導體設備市場的格局。近年來,全球半導體產業(yè)的地緣政治博弈日益激烈,出口管制、技術封鎖等措施,不僅影響了企業(yè)的發(fā)展,也改變了行業(yè)的供應鏈格局。未來,企業(yè)在制定戰(zhàn)略時,也要充分考慮地緣政治因素,構建多元化的供應鏈,降低經營風險。

尼康的倒下,更像一個警鐘,提醒所有科技企業(yè):在這個由資本和技術雙重驅動的殘酷行業(yè)里,沒有永遠的王者,只有時代的適應者。

尼康并非沒有技術,也并非沒有資金。它輸在對新趨勢的誤判,輸在封閉體系的慣性,輸在未能及時調整客戶結構的遲緩。當技術路線轉向時,昔日的資產可能瞬間變成負債。

ASML的今天,源于二十年前那次擁抱浸沒式技術的果敢,源于構建全球開放生態(tài)的戰(zhàn)略遠見。但歷史已經證明,霸權往往是衰落的前奏。當ASML從光刻機霸主向“全產業(yè)鏈整合者”擴張時,它也在面臨新的風險:技術復雜度的進一步攀升、地緣政治的不確定性、以及潛在顛覆性技術的威脅。

據中商產業(yè)研究院預測,2026年全球光刻機市場規(guī)模預計將達392億美元。在這個規(guī)模巨大且快速膨脹的賽道上,游戲規(guī)則已然改寫,技術范式的轉換、商業(yè)模式的創(chuàng)新、生態(tài)系統的博弈,隨時可能顛覆既有格局。

唯一確定的是,半導體產業(yè)的競爭永遠不會停歇。唯有保持開放、擁抱變革,以及對時代變遷始終保持敬畏的企業(yè),才能在下一次技術浪潮中存活下來。

尼康的潰敗,是一曲舊時代的挽歌;而ASML的擴張與佳能的探索,則是新戰(zhàn)局的序章。光刻機的故事遠未結束,它只是翻到了更復雜、更殘酷的一頁。

*免責聲明:本文由作者原創(chuàng)。文章內容系作者個人觀點,半導體行業(yè)觀察轉載僅為了傳達一種不同的觀點,不代表半導體行業(yè)觀察對該觀點贊同或支持,如果有任何異議,歡迎聯系半導體行業(yè)觀察。

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林雁飛
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