本文來(lái)源:時(shí)代周報(bào) 作者:朱成呈
3月25日,2026 SEMICON China在上海開(kāi)幕。作為全球規(guī)模最大、規(guī)格最高的半導(dǎo)體展會(huì),首日便遭遇“限流”。入口處觀眾排起長(zhǎng)隊(duì),只能緩慢入場(chǎng)。
“今年人特別多,第一次碰到展會(huì)限流。”一位參展觀眾向時(shí)代周報(bào)記者感嘆。
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時(shí)代周報(bào)記者 攝
展會(huì)的火熱,與行業(yè)景氣度的變化形成呼應(yīng)。
世界半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計(jì)協(xié)會(huì)(WSTS)數(shù)據(jù)顯示,2025年全球半導(dǎo)體銷售額達(dá)到7917億美元,同比增長(zhǎng) 25.6%。美國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)(SIA)總裁兼首席執(zhí)行官John Neuffer預(yù)計(jì),2026年全球銷售額將達(dá)到約1萬(wàn)億美元。
國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)中國(guó)總裁馮莉表示,“我們?cè)瓉?lái)預(yù)測(cè)2030年實(shí)現(xiàn)萬(wàn)億美元的規(guī)模,這一目標(biāo)會(huì)提前到來(lái),有機(jī)會(huì)在2026年就實(shí)現(xiàn)。”在她看來(lái),這意味著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正被帶入一個(gè)全新的增長(zhǎng)周期。
與以往由消費(fèi)電子或庫(kù)存波動(dòng)主導(dǎo)的周期不同,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)本輪增長(zhǎng)更依賴AI。AI算力需求的快速擴(kuò)張,以及全球數(shù)字經(jīng)濟(jì)的持續(xù)深化,正在成為主要驅(qū)動(dòng)力。
在這一背景下,SEMICON China不再只是半導(dǎo)體設(shè)備展示的平臺(tái),更成為觀察產(chǎn)業(yè)演進(jìn)路徑的窗口:AI如何重塑設(shè)計(jì)與制造,先進(jìn)制程如何推動(dòng)設(shè)備升級(jí),都在展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)得到集中呈現(xiàn)。
AI加速滲透半導(dǎo)體行業(yè)
AI對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的影響,正在同時(shí)向設(shè)計(jì)端與制造端滲透,并改變長(zhǎng)期以來(lái)依賴制程微縮的演進(jìn)路徑。
在制造端,晶合集成(688249.SH)嘗試將AI直接嵌入晶圓廠運(yùn)行體系。其引入“Agentic AI”(代理型 AI)理念,搭建基于DMCO架構(gòu)的AI Agent良率管理體系,部署感知、診斷、優(yōu)化等多種Agent角色,讓設(shè)備具備“感知-認(rèn)知-決策-行動(dòng)”閉環(huán)能力。
實(shí)際效果已在部分工序中顯現(xiàn),缺陷根因定位時(shí)長(zhǎng)從38小時(shí)壓縮至5.4分鐘,黃光、刻蝕、CMP三大核心制程的良率平均貢獻(xiàn)度提升近50%。
晶合集成聯(lián)席總經(jīng)理鄭志成表示,“在AI賦能制造這條賽道上,晶合集成走得很早,也想得很遠(yuǎn)。我們堅(jiān)信AI不應(yīng)是離散的單點(diǎn)工具,而必須成為驅(qū)動(dòng)整個(gè)晶圓廠邁向自主進(jìn)化的核心引擎。”
如果說(shuō)AI在制造端解決的是效率問(wèn)題,那么在設(shè)計(jì)端,其作用正轉(zhuǎn)向系統(tǒng)能力的構(gòu)建。
在傳統(tǒng) EDA(電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化)體系中,工具鏈主要服務(wù)于單一芯片設(shè)計(jì),默認(rèn)封裝、板卡乃至整機(jī)環(huán)境是穩(wěn)定的外部條件。但在AI硬件場(chǎng)景下,這一前提被打破。Chiplet、先進(jìn)封裝、異構(gòu)集成、高帶寬存儲(chǔ)與超高速互連,使芯片從“獨(dú)立單元”轉(zhuǎn)變?yōu)閺?fù)雜系統(tǒng)的一部分,電磁、熱、應(yīng)力等多物理場(chǎng)耦合效應(yīng)顯著增強(qiáng)。
芯和半導(dǎo)體董事長(zhǎng)凌峰在接受時(shí)代周報(bào)等媒體采訪時(shí)表示,傳統(tǒng)EDA在系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì)上存在明顯斷層,缺乏對(duì)整體架構(gòu)的預(yù)判能力。電磁、熱、應(yīng)力等分開(kāi)仿真,忽略彼此間的強(qiáng)耦合效應(yīng)和連鎖反應(yīng),且只服務(wù)于芯片設(shè)計(jì)環(huán)節(jié),無(wú)法賦能封測(cè)、材料、散熱等上下游產(chǎn)業(yè)等。
為此,芯和提出STCO系統(tǒng)級(jí)EDA,在虛擬世界中提前構(gòu)建數(shù)字孿生系統(tǒng),在AI服務(wù)器、AIPC等真實(shí)系統(tǒng)架構(gòu)中進(jìn)行仿真,確保芯片設(shè)計(jì)與系統(tǒng)散熱、供電、結(jié)構(gòu)協(xié)同匹配,從源頭降低系統(tǒng)性風(fēng)險(xiǎn)。
與此同時(shí),AI也在反向改造EDA本身。芯和半導(dǎo)體創(chuàng)始人、總裁代文亮表示,芯和半導(dǎo)體正在推進(jìn) “AI for EDA” 的技術(shù)落地。傳統(tǒng)EDA仿真面臨設(shè)計(jì)復(fù)雜度高、計(jì)算周期長(zhǎng)的行業(yè)痛點(diǎn),AI大模型的引入可以實(shí)現(xiàn)從結(jié)構(gòu)輸入到仿真結(jié)果的秒級(jí)輸出,提升芯片與系統(tǒng)設(shè)計(jì)效率。
新一代刻蝕設(shè)備密集亮相
與設(shè)計(jì)端、制造端的范式變化相呼應(yīng),制造端的設(shè)備結(jié)構(gòu)也在同步升級(jí)。
東吳證券研報(bào)指出,制程迭代推動(dòng)設(shè)備結(jié)構(gòu)升級(jí),刻蝕與薄膜沉積價(jià)值量提升。刻蝕與薄膜沉積在前道設(shè)備中的價(jià)值占比位居前三,且隨制程演進(jìn)呈提升趨勢(shì)。多重曝光、先進(jìn)金屬材料替代及新型結(jié)構(gòu)引入,使設(shè)備數(shù)量與工藝復(fù)雜度同步提升。
這一趨勢(shì)在本次展會(huì)上已有具象體現(xiàn)。國(guó)內(nèi)兩家頭部刻蝕設(shè)備廠商北方華創(chuàng)(002371.SZ)與中微公司(688012.SH),均推出面向先進(jìn)制程的新一代設(shè)備。其中,北方華創(chuàng)發(fā)布新一代12英寸高端電感耦合等離子體(ICP)刻蝕設(shè)備,瞄準(zhǔn)先進(jìn)邏輯與先進(jìn)存儲(chǔ)領(lǐng)域關(guān)鍵刻蝕工藝需求。
中微公司則帶來(lái)新一代電感耦合ICP等離子體刻蝕設(shè)備和高選擇性刻蝕機(jī)。前者為5納米及以下邏輯芯片技術(shù)以及同等技術(shù)節(jié)點(diǎn)難度的先進(jìn)存儲(chǔ)芯片的制造領(lǐng)域,提供了自主可控、技術(shù)領(lǐng)先的ICP刻蝕工藝解決方案。而后者則攻克GAA與3D-DRAM的高選擇比刻蝕難題,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在下一代3D半導(dǎo)體器件制造中關(guān)鍵刻蝕工藝的自主化空白。
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時(shí)代周報(bào)記者 攝
從工藝本身看,在刻蝕過(guò)程中,高選擇比意味著目標(biāo)材料被快速去除,而掩膜或非目標(biāo)材料受影響極小,有助于避免過(guò)刻、損傷與尺寸偏差。在邏輯器件柵極刻蝕、存儲(chǔ)器高深寬比結(jié)構(gòu)加工等先進(jìn)工藝中,高選擇比刻蝕已成為不可或缺的核心工藝能力。
東吳證券研報(bào)認(rèn)為,國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商在先進(jìn)制程存量設(shè)備替換及新增產(chǎn)線建設(shè)中的需求空間,正持續(xù)擴(kuò)大。
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