中微公司發(fā)布Micro LED專用MOCVD設(shè)備

在SEMICON China 2026期間，中微公司發(fā)布四款面向硅基及化合物半導(dǎo)體關(guān)鍵工藝的新產(chǎn)品，涵蓋新一代電感耦合ICP等離子體刻蝕設(shè)備Primo Angnova?、高選擇性刻蝕機Primo Domingo?、Smart RF Match智能射頻匹配器，以及面向藍綠光Micro LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備Preciomo Udx?。

其中，針對Micro LED量產(chǎn)過程中對波長均勻性與顆粒控制的要求，中微公司推出Preciomo Udx? MOCVD設(shè)備。

該設(shè)備在氣體輸運、加熱模式及溫場控制等方面進行了重新設(shè)計，相較傳統(tǒng)垂直氣流MOCVD結(jié)構(gòu)，采用水平式雙旋轉(zhuǎn)反應(yīng)室方案，并結(jié)合溫場與流場仿真以及工藝優(yōu)化，以改善外延生長過程中的均勻性表現(xiàn)。

在量產(chǎn)適配方面，Preciomo Udx?最多可配置兩個反應(yīng)腔，可同時加工18片6英寸或12片8英寸氮化鎵藍綠光Micro LED外延片。各反應(yīng)腔支持獨立控制，有助于提升產(chǎn)線靈活性。同時，設(shè)備配備EFEM與SMIF系統(tǒng)，實現(xiàn)片盒到片盒的自動化傳輸，在一定程度上降低外延過程中的顆粒引入風(fēng)險。

資料顯示，中微公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設(shè)備公司,為集成電路和泛半導(dǎo)體行業(yè)提供極高端設(shè)備和服務(wù)。

2025年，公司實現(xiàn)營業(yè)總收入123.85億元，同比增長36.62%；歸屬于上市公司股東的凈利潤21.11億元，同比增長30.69%。報告期內(nèi)，等離子體刻蝕設(shè)備銷售額約98.32億元，同比增長35.12%；LPCVD和ALD設(shè)備銷售額約5.06億元，同比大幅增長224.23%。

產(chǎn)品研發(fā)方面，公司2025年持續(xù)推進新產(chǎn)品開發(fā)，近兩年新增十余種導(dǎo)體及介質(zhì)薄膜設(shè)備，多款已上市并獲得部分重復(fù)訂單。其中，LPCVD設(shè)備累計出貨超300個反應(yīng)臺，其他關(guān)鍵薄膜沉積設(shè)備研發(fā)穩(wěn)步推進，EPI設(shè)備已進入客戶端量產(chǎn)驗證階段。

此外，公司在Micro LED及其他顯示領(lǐng)域的專用MOCVD設(shè)備研發(fā)取得進展，多款新產(chǎn)品進入客戶端驗證；新型8英寸碳化硅外延設(shè)備及紅黃光LED應(yīng)用設(shè)備已發(fā)運至國內(nèi)客戶開展驗證。產(chǎn)能方面，南昌約14萬平方米、上海臨港18萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地已投入使用。

LEDinside整理

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