河南
快科技3月19日消息，據(jù)報(bào)道，在西方國(guó)家嚴(yán)苛的出口管制下，俄羅斯在半導(dǎo)體自主化道路上邁出關(guān)鍵一步。
俄羅斯國(guó)家工業(yè)信息系統(tǒng)（GISP）最新目錄顯示，由澤列諾格勒納米技術(shù)中心（ZNTC）自主研發(fā)的新型光刻系統(tǒng)已正式納入國(guó)家工業(yè)設(shè)備名錄。
這也意味著俄羅斯在構(gòu)建獨(dú)立半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)、打破西方技術(shù)封鎖上，邁出了從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)到工業(yè)化部署的實(shí)質(zhì)性一步。
該設(shè)備是一款對(duì)準(zhǔn)和投影曝光裝置，核心指標(biāo)為350納米（0.35微米）分辨率，采用365納米波長(zhǎng)i線紫外光源，可處理200毫米標(biāo)準(zhǔn)晶圓，對(duì)準(zhǔn)精度達(dá)90納米。
雖然這一制程節(jié)點(diǎn)與全球最尖端的3納米工藝存在代差，但在工業(yè)體系中依然具有極高的實(shí)用價(jià)值，具備量產(chǎn)工業(yè)級(jí)芯片能力，可應(yīng)用于電源管理、汽車電子、航空航天控制及嵌入式系統(tǒng)等領(lǐng)域。
GISP目錄收錄不僅是行政程序，更為國(guó)產(chǎn)設(shè)備打開國(guó)內(nèi)市場(chǎng)通道，根據(jù)俄羅斯國(guó)家戰(zhàn)略，政府及國(guó)企采購(gòu)將優(yōu)先選擇名錄內(nèi)產(chǎn)品。
業(yè)界分析指出，現(xiàn)代工業(yè)對(duì)350納米等成熟制程芯片需求穩(wěn)定且龐大，汽車功率器件、工業(yè)機(jī)器人控制芯片、導(dǎo)彈制導(dǎo)系統(tǒng)抗輻射元件等均無(wú)需極致微縮化，更看重可靠性與供應(yīng)穩(wěn)定性，這臺(tái)設(shè)備恰好填補(bǔ)了俄羅斯在成熟制程供應(yīng)鏈上的空白。
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