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中國在光刻機領(lǐng)域的努力越來越明顯,尤其從幾年前開始,本土企業(yè)就逐步推出一些設(shè)備,雖然起步晚但步子穩(wěn)。記得上海微電子裝備集團(tuán)在那幾年里,慢慢把一些技術(shù)從實驗室推向生產(chǎn)線,避免了對國外依賴過重。
那些設(shè)備主要用于中等制程芯片制造,幫著國內(nèi)工廠緩解了供應(yīng)鏈壓力。荷蘭那邊自然看在眼里,畢竟他們是這個領(lǐng)域的傳統(tǒng)玩家,阿斯麥公司幾乎壟斷了高端市場。中國這些進(jìn)展,讓人覺得全球格局可能要變一變,誰都不想被甩在身后。
荷蘭官員的表態(tài)來得突然,但細(xì)想也合情理。2024年5月31日,在新加坡的香格里拉對話會上,荷蘭國防部長魯本·布雷克爾曼斯直言不諱,說中國在加強對荷蘭半導(dǎo)體行業(yè)的監(jiān)視活動。他把矛頭指向知識產(chǎn)權(quán)獲取,覺得這威脅到他們的技術(shù)優(yōu)勢。
荷蘭情報部門之前就發(fā)過報告,提到類似情況,涉及多個關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)。布雷克爾曼斯強調(diào),這些活動沒停反而更活躍,直接聯(lián)想到中國光刻機領(lǐng)域的快速跟進(jìn)。中國外交部很快就回應(yīng),說這種說法沒證據(jù),是在抹黑自家研發(fā)成果。
其實荷蘭的擔(dān)憂不是空穴來風(fēng),他們的情報局在2024年4月的年度報告里,已經(jīng)點出中國網(wǎng)絡(luò)活動是主要威脅來源,半導(dǎo)體位列首位。報告說這些行動旨在提升軍力,荷蘭覺得自家企業(yè)成了目標(biāo)。
阿斯麥作為全球光刻機巨頭,出口管制越來越嚴(yán),中國采購受限后,轉(zhuǎn)向自主路徑就更迫切。布雷克爾曼斯在會上重申,大部分針對荷蘭的網(wǎng)絡(luò)事件都來自中國,這話聽起來像在拉盟友一起應(yīng)對。結(jié)果呢,中國繼續(xù)推進(jìn)技術(shù)迭代,沒被這些指責(zé)絆住腳。
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從2023年9月1日起,荷蘭就收緊了對某些光刻機的出口,需要逐案審批,特別是那些用于精細(xì)制程的型號。中國客戶采購時,常常碰到障礙,阿斯麥也得調(diào)整策略。2024年1月,荷蘭甚至撤銷了一些已發(fā)許可證,影響了中方幾家工廠的計劃。中國商務(wù)部對此表示不滿,覺得這是受美方影響,盟國被拉著加碼管制。
軍事層面的摩擦也添了把火。2024年6月,荷蘭海軍“特羅姆普號”護(hù)衛(wèi)艦穿越臺灣海峽,從南往北走,中國軍方派飛機和艦艇監(jiān)視,過程中有過幾次近距離接觸。荷蘭國防部說中國戰(zhàn)機盤旋制造不安全,中國國防部則回?fù)簦f這是侵犯主權(quán),要停止挑釁。
事后雙方通過外交渠道溝通,但沒完全化解分歧。荷蘭海軍稱行動合國際法,支持航行自由,這事讓地區(qū)局勢更緊繃。荷蘭作為小國,在東海活動頻繁,似乎想借此拉近與美國的距離。
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除了海軍對峙,荷蘭情報部門在2024年2月就公開過一次,指責(zé)中國黑客入侵他們的軍事網(wǎng)絡(luò)。時任國防部長卡伊薩·奧隆格倫說事件嚴(yán)重,數(shù)據(jù)竊取指向敏感領(lǐng)域,包括半導(dǎo)體相關(guān)。
調(diào)查顯示,黑客用了惡意軟件,荷蘭趕緊升級防御。中國否認(rèn)參與,說指控沒依據(jù)。這種事不是頭一回了,歐盟內(nèi)部開始討論怎么減少對華技術(shù)依賴。布雷克爾曼斯接任后,繼續(xù)推這個議題,荷蘭政府加強了企業(yè)安全指導(dǎo)。
中國光刻機進(jìn)展的細(xì)節(jié),上海微電子裝備集團(tuán)在2023年底有過消息,說他們研制出某種光刻機,后來雖撤回但業(yè)內(nèi)都知道在推進(jìn)。設(shè)備針對中等節(jié)點,通過多重曝光能支持更細(xì)制程,核心零件本土化了。測試階段,良率逐步穩(wěn)定,成本比進(jìn)口低不少。多家工廠試用后,反饋正面,推動了芯片自給率提升。
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荷蘭的反應(yīng)越來越急切,2024年9月6日,他們又?jǐn)U展管制范圍,更多設(shè)備需授權(quán)出口。從那天起,歐盟外發(fā)運得評估風(fēng)險,不是全禁但門檻高。中國企業(yè)采購更難,只能加速本土替代。
阿斯麥發(fā)聲明,說這符合美方規(guī)則,對自家財務(wù)影響有限。但中國業(yè)務(wù)占比不小,長期看格局會移。中國商務(wù)部批評這是單邊主義,呼吁公平貿(mào)易。
2024年12月2日,阿斯麥更新展望,提到出口限制對來年影響在預(yù)期內(nèi)。新規(guī)部分立即生效,有些延到年底。中國幾家晶圓廠被列入名單,深紫外設(shè)備出口更嚴(yán)。荷蘭當(dāng)局評估風(fēng)險時,常常偏謹(jǐn)慎。中國轉(zhuǎn)而加強研發(fā)合作,本土光刻機產(chǎn)量漸增。這樣的博弈,讓人看到技術(shù)競爭的殘酷,誰先掌握關(guān)鍵,誰就占上風(fēng)。
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2024年6月7日,“特羅姆普號”在東海執(zhí)行任務(wù)時,中國戰(zhàn)機多次逼近,還有直升機接近。荷蘭報告說這造成隱患,發(fā)生在國際空域。中國軍方?jīng)]細(xì)回,但強調(diào)維護(hù)權(quán)益。荷蘭堅持任務(wù)是為海上安全,無針對性。這樣的摩擦,增加了不確定性,周邊各方都警惕起來。荷蘭海軍實力雖強,但面對大國海軍,冒險成分不小。
情報局在2024年6月11日又說,中國網(wǎng)絡(luò)活動超出預(yù)期,覆蓋更廣。4月報告已指半導(dǎo)體是焦點,數(shù)據(jù)竊取頻繁。荷蘭加強監(jiān)測,推國際合作。2025年4月,新報告重申中國威脅最大,活動在增。政府提升企業(yè)防護(hù),歐盟跟進(jìn)討論。布雷克爾曼斯推動技術(shù)獨立,歐盟減少依賴。
2025年,沒直接沖突,雙邊關(guān)系警覺。中國半導(dǎo)體沒停步,技術(shù)迭代繼續(xù)。荷蘭情報持續(xù)監(jiān)控,出口管制沒松。阿斯麥業(yè)務(wù)調(diào)整,中國本土設(shè)備覆蓋更多領(lǐng)域。全球芯片供應(yīng)鏈在變,中國自主化成趨勢。
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