中科儀：中科院旗下真空泵龍頭，70年鑄就中國(guó)高精尖產(chǎn)業(yè)發(fā)展基石

1879年10月，愛迪生團(tuán)隊(duì)在歷經(jīng)數(shù)千次試驗(yàn)、測(cè)試1600多種材料后，終于制成第一個(gè)可供實(shí)用的碳絲燈泡。然而，通電后的碳絲瞬間燒斷，其癥結(jié)在于高溫碳絲與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng)。為解決這一難題，愛迪生團(tuán)隊(duì)改進(jìn)了當(dāng)時(shí)尚屬原始的真空泵，成功將玻璃泡內(nèi)空氣抽離。在真空環(huán)境下，碳絲最終實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定發(fā)光。

此后，隨著工業(yè)與科技的突飛猛進(jìn)，人們發(fā)現(xiàn)真空環(huán)境對(duì)于許多高精尖研究而言都不可或缺，這極大地推動(dòng)了真空泵技術(shù)的發(fā)展。時(shí)至今日，真空泵已成為集成電路、光伏、重大科技基礎(chǔ)設(shè)施等領(lǐng)域不可替代的核心裝備。而中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中科儀”）正是我國(guó)真空技術(shù)領(lǐng)域的重要企業(yè)。公司數(shù)十年如一日深耕此領(lǐng)域，多次打破國(guó)外技術(shù)壟斷，為國(guó)家的重大科學(xué)研究提供了堅(jiān)實(shí)支撐。1月16日，這家領(lǐng)先的真空泵供應(yīng)商即將在北交所上會(huì)，攜近70年的深厚技術(shù)積淀，開啟資本市場(chǎng)新征程。

中國(guó)真空技術(shù)發(fā)展推動(dòng)者，持續(xù)賦能戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)

真空技術(shù)的價(jià)值，深植于每一個(gè)高精尖產(chǎn)業(yè)的細(xì)微環(huán)節(jié)之中。

在集成電路制造車間，一片12英寸晶圓需經(jīng)歷上千道工藝，其中15個(gè)核心環(huán)節(jié)有11個(gè)依賴真空環(huán)境——光刻時(shí)需隔絕空氣避免光線折射，刻蝕時(shí)需防止雜質(zhì)影響線路精度，薄膜沉積時(shí)需保證涂層均勻。缺乏可靠的真空環(huán)境，芯片良率將急劇下滑，甚至導(dǎo)致整條產(chǎn)線停產(chǎn)。

在光伏產(chǎn)業(yè)，晶體生長(zhǎng)和電池片鍍膜過(guò)程中，真空環(huán)境能有效提升硅材料純度，直接決定太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。而在國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施領(lǐng)域，如北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)、上海同步輻射光源等“國(guó)之重器”，更是需要超高真空環(huán)境來(lái)保障粒子加速和實(shí)驗(yàn)的精確性。

真空泵是實(shí)現(xiàn)上述要求的關(guān)鍵設(shè)備。然而，在很長(zhǎng)一段時(shí)間里，中國(guó)高端真空泵市場(chǎng)被英國(guó)Edwards、日本Ebara等海外巨頭壟斷。這些企業(yè)憑借數(shù)十年技術(shù)積累，曾占據(jù)國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域主要的市場(chǎng)份額，不僅定價(jià)高昂，更在關(guān)鍵時(shí)期存在斷供風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，真空泵的“卡脖子”問(wèn)題，猶如汽車缺少核心發(fā)動(dòng)機(jī)，再先進(jìn)的生產(chǎn)線也難以順暢運(yùn)轉(zhuǎn)。

中科儀的崛起，恰逢其時(shí)地填補(bǔ)了這一空白。

公開資料顯示，中科儀的歷史可追溯至20世紀(jì)50年代中科院下屬的真空科研事業(yè)單位。自成立以來(lái)，公司始終專注于這一細(xì)分領(lǐng)域。1979年，中科儀成功研制出中國(guó)第一臺(tái)分子束外延設(shè)備（MBE），打破了國(guó)外禁運(yùn)，并先后參與北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)、蘭州重離子加速器等11項(xiàng)國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，并為上海同步輻射光源提供了70%以上的前端區(qū)設(shè)備。2001年，公司成功研發(fā)出用于科研領(lǐng)域的渦旋干式真空泵，實(shí)現(xiàn)了清潔真空環(huán)境，開啟了干式真空泵國(guó)產(chǎn)化的序幕；2017年，公司承擔(dān)的國(guó)家重大專項(xiàng)成果——干式真空泵產(chǎn)品取得重大突破，實(shí)現(xiàn)在中芯國(guó)際多條產(chǎn)線的批量應(yīng)用，成為首個(gè)批量應(yīng)用于集成電路制造工藝的國(guó)產(chǎn)真空獲得設(shè)備制造企業(yè)。徹底打破了國(guó)外企業(yè)在該市場(chǎng)的壟斷地位。

值得一提的是，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)基金作為公司重要股東，持股比例達(dá)19.73%，其戰(zhàn)略投資不僅為公司發(fā)展提供了資金支持，更彰顯了公司在集成電路核心零部件領(lǐng)域的行業(yè)地位與發(fā)展?jié)摿Α?/p>

中科儀亦不負(fù)所望，歷經(jīng)多年發(fā)展，公司已成為國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域出貨量最大的國(guó)產(chǎn)干式真空泵企業(yè)，累計(jì)出貨量超4萬(wàn)臺(tái)（其中集成電路領(lǐng)域超3萬(wàn)臺(tái)），2024年國(guó)內(nèi)市占率達(dá)12.72%。尤為重要的是，公司是唯一能在14nm先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用、唯一能覆蓋清潔/中等/苛刻全工藝的國(guó)產(chǎn)廠商。

硬核實(shí)力構(gòu)建壁壘，多領(lǐng)域驗(yàn)證彰顯價(jià)值

基于深厚的技術(shù)積淀，中科儀形成了以干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備為核心的產(chǎn)品體系。

其中，干式真空泵是公司主要的收入來(lái)源，2024年收入占比達(dá)72.44%。具體而言，中科儀干式真空泵分為L(zhǎng)、M、H三大系列：L系列專攻清潔工藝，抽速110-1000m3/h，具有能耗低、體積小的優(yōu)勢(shì)；M系列面向中等工藝，突出耐腐蝕性和溫度可控性；H系列則針對(duì)苛刻工藝，抽速可達(dá)600-2800m3/h，能耐受強(qiáng)腐蝕和高粉塵環(huán)境，廣泛應(yīng)用于集成電路、光伏、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。截至目前，公司已推出近四十款不同型號(hào)的干式真空泵，能夠適配AMAT、LAM Research、北方華創(chuàng)、中微、拓荊等30余家國(guó)內(nèi)外主流設(shè)備廠商的數(shù)百種機(jī)臺(tái)，堪稱為不同應(yīng)用場(chǎng)景量身定制的“潔凈衛(wèi)士”。

公司的真空科學(xué)儀器設(shè)備主要服務(wù)于國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施和前沿科學(xué)研究，客戶多為高校、科研院所，2024年收入占比為16.22%。其中，MBE設(shè)備已迭代至第六代，累計(jì)交付60余臺(tái)，成功打破了《瓦森納協(xié)定》對(duì)我國(guó)的禁運(yùn)限制；為上海同步輻射光源提供了32條前端區(qū)中的23條、34條光束線中的18條，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)。

這些豐碩的技術(shù)成果，源于中科儀強(qiáng)大的研發(fā)體系。公司源自中科院，擁有真空技術(shù)裝備國(guó)家工程研究中心、國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心三個(gè)國(guó)家級(jí)研發(fā)平臺(tái)。依托于此，公司持續(xù)加大研發(fā)投入，近三年（2022-2024）研發(fā)投入分別為6,008.05萬(wàn)元、8,465.08萬(wàn)元和11,008.08萬(wàn)元，不斷深化技術(shù)積累。截至2025年6月30日，中科儀已擁有發(fā)明專利100項(xiàng)，并作為主要起草方參與制定了13項(xiàng)真空技術(shù)相關(guān)的國(guó)家、行業(yè)及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，使技術(shù)創(chuàng)新成為驅(qū)動(dòng)企業(yè)發(fā)展的核心引擎。

此外，公司技術(shù)實(shí)力多次獲得權(quán)威認(rèn)可，曾先后獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步特等、一等、二等、三等獎(jiǎng)共6項(xiàng)，中國(guó)科學(xué)院及省部級(jí)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)20余項(xiàng)，其中多項(xiàng)成果填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)技術(shù)空白。

業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)驗(yàn)證技術(shù)，優(yōu)質(zhì)客戶奠定基礎(chǔ)

技術(shù)的價(jià)值，最終需要通過(guò)市場(chǎng)表現(xiàn)和財(cái)務(wù)業(yè)績(jī)來(lái)驗(yàn)證。中科儀持續(xù)增長(zhǎng)的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)，正是技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)需求同頻共振的最佳體現(xiàn)。

招股書顯示，2022至2024年，公司營(yíng)業(yè)收入從6.98億元穩(wěn)步增長(zhǎng)至10.82億元，復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)24.51%；

同期公司扣非歸母凈利潤(rùn)從6,186.11萬(wàn)元增至8,787.75萬(wàn)元，復(fù)合增長(zhǎng)率為19.19%。

進(jìn)入2025年，公司業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)勢(shì)頭不減，前三季度營(yíng)收同比增長(zhǎng)21.93%，扣非歸母凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)8.04%，在行業(yè)波動(dòng)中展現(xiàn)出穩(wěn)健的增長(zhǎng)韌性。

這份增長(zhǎng)背后，離不開優(yōu)質(zhì)客戶群的廣泛認(rèn)可與信賴。在集成電路領(lǐng)域，中科儀的產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)內(nèi)各大主流晶圓廠，并成功通過(guò)臺(tái)積電、大連Intel、SK海力士的測(cè)試驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)小批量出貨；在光伏領(lǐng)域，2023年公司對(duì)隆基綠能的銷售收入達(dá)1.59億元，占當(dāng)年?duì)I業(yè)收入的18.67%，成為其核心供應(yīng)商；在科研領(lǐng)域，中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)等頂尖科研機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期選用其真空科學(xué)儀器設(shè)備。

從實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)突破到產(chǎn)線的規(guī)模化應(yīng)用，從中科院的科研項(xiàng)目到上市公司的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)，中科儀成功完成了從技術(shù)研發(fā)到商業(yè)落地的完整閉環(huán)，讓國(guó)產(chǎn)真空技術(shù)不僅實(shí)現(xiàn)了自主可控，更具備了強(qiáng)勁的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

政策市場(chǎng)雙重驅(qū)動(dòng)，募投擴(kuò)產(chǎn)開拓空間

隨著“十四五”規(guī)劃圓滿收官，我國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展在“十五五”期間迎來(lái)新的戰(zhàn)略目標(biāo)：既要大力發(fā)展新型工業(yè)化以取得高質(zhì)量發(fā)展顯著成效，同時(shí)必須持續(xù)推進(jìn)科技自立自強(qiáng)，實(shí)現(xiàn)重點(diǎn)領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)的快速突破，深化科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新融合，顯著增強(qiáng)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)效能。值得注意的是，“十五五”規(guī)劃明確強(qiáng)調(diào)了集成電路、高端儀器等關(guān)鍵領(lǐng)域的核心技術(shù)攻關(guān)，而“雙碳”目標(biāo)則持續(xù)推動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)規(guī)模擴(kuò)張，這些政策導(dǎo)向?yàn)檎婵占夹g(shù)帶來(lái)了廣闊的市場(chǎng)前景。

從市場(chǎng)需求端看，近年來(lái)人工智能、自動(dòng)駕駛、物聯(lián)網(wǎng)、機(jī)器人等新興產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，對(duì)算力、存儲(chǔ)、傳感器的需求激增，有力推動(dòng)了集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)向好。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，全球晶圓廠設(shè)備銷售額近年來(lái)保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，2024年達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的1,042.7億美元，預(yù)計(jì)2025年將增長(zhǎng)至1,107.7億美元。隨著新晶圓廠項(xiàng)目啟動(dòng)、產(chǎn)能擴(kuò)張及技術(shù)迭代，SEMI預(yù)計(jì)2026年銷售額將躍升至1,221.0億美元，較2025年大幅增長(zhǎng)10.23%。

另一方面，在產(chǎn)業(yè)政策推動(dòng)、技術(shù)持續(xù)進(jìn)步和成本不斷下降的共同作用下，中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)中長(zhǎng)期發(fā)展前景依然光明。光伏年新增裝機(jī)容量從2020年的48.2GW飆升至2024年的277.57GW，年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)驚人的54.91%。中國(guó)光伏行業(yè)協(xié)會(huì)（CPIA）預(yù)計(jì)，到2030年，我國(guó)光伏新增裝機(jī)容量將達(dá)到280-300GW。

在政策與市場(chǎng)的雙輪驅(qū)動(dòng)下，真空泵市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)容。根據(jù)SEMI預(yù)計(jì)數(shù)據(jù)及測(cè)算，2024年全球集成電路領(lǐng)域干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模約125.74億元。中國(guó)作為全球最主要的集成電路市場(chǎng)之一，在政府大力支持下制造能力迅速提升。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)測(cè)算，2024年中國(guó)大陸集成電路領(lǐng)域干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模約52.11億元。另?yè)?jù)CPIA《2023-2024年中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)年度報(bào)告》及iVacuum真空聚焦測(cè)算，2024年我國(guó)光伏領(lǐng)域干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模約47.0-57.2億元，國(guó)產(chǎn)替代空間依然廣闊。

面對(duì)廣闊的市場(chǎng)機(jī)遇，中科儀已前瞻布局。本次IPO，公司擬募集資金8.25億元，主要投向以下三個(gè)項(xiàng)目：

其中干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，公司各類干式真空泵年產(chǎn)能將提升至2.65萬(wàn)臺(tái)，進(jìn)一步強(qiáng)化生產(chǎn)制造優(yōu)勢(shì)，滿足市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)的需求。

高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目聚焦于H系列干式真空泵。該系列產(chǎn)品是集成電路設(shè)備（如刻蝕、PVD、CVD等工藝）中的重要配套設(shè)備，同時(shí)也可應(yīng)用于包括光伏在內(nèi)的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。

新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項(xiàng)目則旨在針對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)超高速節(jié)能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產(chǎn)品；同時(shí)面向泛半導(dǎo)體、工業(yè)真空、儀器制造及科學(xué)研究等市場(chǎng)，開發(fā)大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機(jī)組。項(xiàng)目完成后將極大豐富公司產(chǎn)品線、增強(qiáng)技術(shù)優(yōu)勢(shì)，并進(jìn)一步拓展干式真空泵的應(yīng)用場(chǎng)景和市場(chǎng)空間。

資本市場(chǎng)稀缺標(biāo)的，自主可控關(guān)鍵力量

從中科院的實(shí)驗(yàn)室到半導(dǎo)體工廠的產(chǎn)線，從“兩彈一星”時(shí)期的技術(shù)攻關(guān)到當(dāng)下的國(guó)產(chǎn)替代浪潮，中科儀的歷程，正是中國(guó)真空技術(shù)從無(wú)到有、從弱到強(qiáng)的生動(dòng)縮影。

從資本市場(chǎng)視角審視，中科儀具備顯著的稀缺性與先進(jìn)性。公司不僅身處集成電路、光伏等高增長(zhǎng)賽道，擁有穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)客戶群和亮眼的業(yè)績(jī)表現(xiàn)，更具備清晰的募投規(guī)劃與可持續(xù)的成長(zhǎng)路徑。在國(guó)產(chǎn)替代加速、科技自立自強(qiáng)的時(shí)代洪流中，其未來(lái)的成長(zhǎng)具有高度的確定性。隨著IPO進(jìn)程的推進(jìn)，中科儀不僅將實(shí)現(xiàn)自身技術(shù)價(jià)值與市場(chǎng)價(jià)值的同步躍升，更將為中國(guó)高端裝備制造業(yè)的自主可控貢獻(xiàn)更為堅(jiān)實(shí)的力量。