中國造不出光刻機(jī)？中科大副院長：美國造不出，中國永遠(yuǎn)都不可能

2024年9月，中科大前副院長朱士堯一句“美國造不出，中國就更不可能”，直接把光刻機(jī)話題推上了熱搜。

有人罵他長別人志氣、滅自己威風(fēng)，也有人覺得他戳破了不切實(shí)際的幻想。

這話聽著格外扎心，卻也是半導(dǎo)體行業(yè)最殘酷的現(xiàn)實(shí)。

全球頂級光刻機(jī)從來不是一個(gè)國家能單打獨(dú)斗搞出來的，而是多國技術(shù)聯(lián)手的成果，就算美國牽頭也湊不齊全套技術(shù)，中國更不可能關(guān)起門來就把它造出來。

其實(shí)這句話不是最近說的，最早出自2021年2月的一次媒體采訪，當(dāng)時(shí)中美科技摩擦正處于緊張階段，美國已經(jīng)開始推動(dòng)荷蘭限制對華出口先進(jìn)光刻機(jī)。

朱士堯作為物理學(xué)專家，研究相關(guān)領(lǐng)域多年，他說這話，并不是否定中國的能力，而是基于光刻機(jī)的實(shí)際情況，說出的大實(shí)話。

很多人都以為，光刻機(jī)就是一臺普通的機(jī)器，只要有錢、有技術(shù)人員，就能造出來，可實(shí)際上，它的復(fù)雜程度遠(yuǎn)超所有人的想象。

現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機(jī)，單臺重180噸，里面有10萬個(gè)零件，涉及光學(xué)、精密機(jī)械、材料科學(xué)等數(shù)十門頂尖學(xué)科，不是單一國家能獨(dú)立完成的。

朱士堯說“美國造不出”，并不是說美國沒有技術(shù)，而是美國就算再厲害，也沒法單獨(dú)造出最先進(jìn)的光刻機(jī)。

目前全球能造最先進(jìn)EUV光刻機(jī)的只有荷蘭ASML公司，但這家公司也不是自己能造出所有部件，核心部件都來自全球各地。

EUV光刻機(jī)的核心光源，來自美國的Cymer公司，這種光源需要用激光每秒轟擊5萬次錫珠，才能產(chǎn)生13.5納米的極紫外光，這種技術(shù)美國能研發(fā)，但沒法單獨(dú)量產(chǎn)。

而光刻機(jī)的光學(xué)鏡頭，全世界只有德國蔡司公司能造，表面平整度誤差不能超過0.1納米，這種精度，美國自己也做不到。

除此之外，光刻機(jī)的控制系統(tǒng)、精密傳感器等關(guān)鍵部件，還需要日本、德國等多個(gè)國家的企業(yè)配合，美國就算有核心技術(shù)，脫離了全球供應(yīng)鏈，也造不出完整的先進(jìn)光刻機(jī)。

朱士堯正是看到了這一點(diǎn)，才說出那樣的話，他的意思是，光刻機(jī)是全球協(xié)作的產(chǎn)物，美國都做不到脫離協(xié)作單獨(dú)制造，中國目前自然也做不到。

這話在當(dāng)時(shí)就引起了不小的波瀾，很多人誤讀了他的意思，以為他是在潑冷水，否定中國研發(fā)光刻機(jī)的努力。

直到2024年9月，這段舊訪談被重新剪輯發(fā)布，再次刷屏，播放量超過百萬，人們才開始重新審視這句話的含義。

其實(shí)朱士堯的話，針對的是最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，而不是所有光刻機(jī)，他也沒有否定中國在光刻機(jī)領(lǐng)域的進(jìn)步。

中國并不是造不出光刻機(jī)，國內(nèi)有一家叫上海微電子的公司，是中國大陸唯一能研發(fā)、量產(chǎn)前道光刻機(jī)的企業(yè)。

這家公司已經(jīng)量產(chǎn)了90納米的光刻機(jī)，主要用于功率器件、汽車電子等領(lǐng)域，2025年還交付了28納米的光刻機(jī)，良率達(dá)到90%以上。

28納米的光刻機(jī)雖然不是最先進(jìn)的，但已經(jīng)能滿足大部分汽車芯片、工業(yè)芯片的需求，而且成本比ASML的設(shè)備低40%左右。

2026年，上海微電子還官宣，28納米的光刻機(jī)已經(jīng)進(jìn)入中芯國際、華虹等企業(yè)的產(chǎn)線驗(yàn)證，很快就能批量供貨。

除此之外，中國在光刻機(jī)的配套部件上也在逐步突破，比如光刻膠，2025年已經(jīng)實(shí)現(xiàn)28納米級光刻膠量產(chǎn)，不用再完全依賴進(jìn)口。

福晶科技生產(chǎn)的激光晶體，占據(jù)全球六成份額，甚至已經(jīng)成為ASML的供應(yīng)商，這也是中國在光刻機(jī)領(lǐng)域的一個(gè)優(yōu)勢。

還有哈爾濱工業(yè)大學(xué)的團(tuán)隊(duì)，2025年攻克了EUV光源原型，雖然離商用還有距離，但已經(jīng)邁出了關(guān)鍵一步。

很多人疑惑，既然中國已經(jīng)有了這些突破，為什么還造不出最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)？其實(shí)答案很簡單，就是差距確實(shí)存在，而且需要時(shí)間追趕。

ASML的EUV光刻機(jī)，是全球5000多家供應(yīng)商共同協(xié)作的結(jié)果，英特爾、臺積電、三星還聯(lián)合向ASML注資，形成了深度綁定的生態(tài)。

這種模式，讓ASML在EUV領(lǐng)域形成了壟斷，其他國家想要追趕，不僅需要突破技術(shù)難關(guān)，還需要搭建自己的供應(yīng)鏈體系，這不是短時(shí)間能完成的。

美國雖然能提供EUV的核心光源，但離不開德國的鏡頭、日本的部件，沒法單獨(dú)造出來；中國起步更晚，自然需要更多時(shí)間積累。

朱士堯的話，其實(shí)是一劑清醒劑，他不是否定中國的努力，而是提醒大家，研發(fā)光刻機(jī)不能急于求成，要尊重客觀規(guī)律。

很多人太急于看到成果，一旦聽到“造不出”的說法，就會情緒激動(dòng)，要么否定一切，要么盲目樂觀，卻忽略了技術(shù)發(fā)展的客觀規(guī)律。

光刻機(jī)的研發(fā)，不是一朝一夕的事，ASML從研發(fā)EUV原型機(jī)到實(shí)現(xiàn)商用，花了17年時(shí)間，投入了巨額資金。

中國從2010年代末才開始全力推進(jìn)自研，目前能造出28納米的光刻機(jī)，已經(jīng)是很大的進(jìn)步，想要追上ASML的水平，還需要幾代人的努力。

而且美國一直在對中國進(jìn)行技術(shù)封鎖，2023年更是把管制擴(kuò)展到了28納米的DUV光刻機(jī)，荷蘭也跟著限制出口，這讓中國的研發(fā)之路更加艱難。

在這種情況下，中國只能走自主研發(fā)的道路，一步步搭建本土供應(yīng)鏈，從基礎(chǔ)部件做起，慢慢積累技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。

現(xiàn)在網(wǎng)上還有人爭論，朱士堯的話是不是太絕對了，其實(shí)他的話，本質(zhì)上是在強(qiáng)調(diào)全球協(xié)作的重要性，以及光刻機(jī)研發(fā)的難度。

他說“美國造不出，中國永遠(yuǎn)都不可能”，這里的“造不出”，指的是脫離全球協(xié)作體系，單獨(dú)造出最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，而不是說永遠(yuǎn)造不出任何光刻機(jī)。

隨著中國在各個(gè)領(lǐng)域的突破，本土供應(yīng)鏈越來越完善，上海微電子的技術(shù)也在不斷進(jìn)步，未來未必不能造出先進(jìn)的光刻機(jī)。

只是這個(gè)過程會很漫長，可能需要十幾年甚至幾十年，不能急于求成，更不能盲目否定自己的努力。

總結(jié)下來，事情的經(jīng)過就是這樣：朱士堯在2021年的采訪中，針對光刻機(jī)的全球協(xié)作特性，說出了那句引發(fā)爭議的話。

這句話被誤讀多年，直到后來中國光刻機(jī)的進(jìn)展逐步曝光，人們才明白他的真實(shí)意思，不是否定中國，而是提醒大家尊重技術(shù)規(guī)律。

中國目前能造出中低端光刻機(jī)，滿足部分市場需求，在核心部件上也有突破，但離最先進(jìn)的水平還有差距。

美國雖然技術(shù)先進(jìn)，也沒法單獨(dú)造出最先進(jìn)的光刻機(jī)，光刻機(jī)的研發(fā)需要全球協(xié)作，中國的追趕之路雖然艱難，但一直在穩(wěn)步前進(jìn)，不是永遠(yuǎn)都不可能造出先進(jìn)光刻機(jī)。

現(xiàn)在，上海微電子還在推進(jìn)更先進(jìn)的光刻機(jī)研發(fā)，本土配套企業(yè)也在不斷突破，相信只要堅(jiān)持下去，總有一天，中國能在光刻機(jī)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，打破國外的壟斷。

而朱士堯的那句話，也會成為一個(gè)提醒，讓我們在追趕技術(shù)的路上，保持清醒，腳踏實(shí)地，不驕不躁，一步一個(gè)腳印地往前走。