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現階段,內存與固態硬盤價格持續暴漲,半導體行業正處于由人工智能和企業級需求共同驅動的嚴重短缺周期內。
無晶圓廠(fabless)芯片設計公司對先進制程的需求持續激增,這直接導致臺積電等主流代工廠面臨嚴峻的產能瓶頸,產能缺口顯著,無論是中下游廠商,還是廣大消費者,都苦不堪言。
近日,ASML正式披露了一項重要技術突破,有望在一定程度上緩解當前的芯片產能緊張問題。具體來看,ASML研究團隊已成功將極紫外光(EUV)光源功率從當前的約600瓦提升至1000瓦,實現了大幅技術跨越。
需要重點強調指出的是,這項技術絕非停留在PPT層面的概念,ASML EUV 光源首席技術專家 Michael Purvis表示:“該技術并非短暫的演示或實驗性成果,而是一套能夠在客戶實際生產環境中穩定輸出 1000 瓦功率的成熟解決方案。”
ASML進一步透露,如果將光源功率提升至1千瓦,預計單臺EUV光刻機的晶圓處理速度有望從當前的約 220片/小時提升至330片/小時,同時基本維持單位成本穩定,有望在未來十年內將全球芯片產能提高50%以上。
更為關鍵的是,這一改進方案還有一個重大優勢,那就是升級成本和難度相對較低,可依托ASML 現有的“生產力提升套件”落地實施。這些套件允許客戶在不更換整機的前提下,對現場設備進行針對性優化升級。
不過,不同型號的EUV設備升級路徑存在差異,對于部分較早推出的型號(如 NXE:3400C/D),受限于自身熱管理能力,升級方案將進行針對性調整;而對于 NXE:3800E系列以及即將推出的高數值孔徑(High-NA)機型 EXE:5000/5200,該增強光源有望更快實現規模化應用。
這意味著,下游的芯片制造廠商無需新增潔凈室空間、也無需大規模更換設備,僅通過對現有設備進行針對性升級即可實現產能提升。因此對晶圓廠而言,無疑具備極高的經濟效益。如果順利推廣,該技術有望顯著緩解當前的芯片供應緊張局面,并重塑晶圓廠的運營經濟模型。
盡管如此,該方案也帶來了新的要求和挑戰,包括更高的功耗需求、更嚴苛的冷卻要求以及精細化的氫氣流量管理等。但鑒于當前芯片產能短缺的緊迫性,全球主要晶圓廠普遍對這一突破持樂觀態度,并迫切期待其盡快進入商用部署階段。
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