中國造不出光刻機？中科大副院長：美國造不出，中國永遠都不可能

朱士堯的職業歷程

1944年10月朱士堯出生在上海嘉定，早年接受教育后1963年考入中國科學技術大學北京校區，專業方向是核反應堆工程，1968年畢業。

1973年起在中科大近代物理系教書并搞研究，主要領域是等離子體物理和受控核聚變，期間寫了不少論文，還出過三本書，比如1992年中國科學技術大學出版社出的《核聚變原理》，現在還是這個專業博士生考試的參考書。1983年他被派到美國威斯康星大學麥迪遜分校當訪問學者，待了快三年。

1995年又去荷蘭科學院做訪問教授，合作研究一年半。1997年起他當上中科大研究生院副院長，管研究生教育。2005年3月從中科大退休后，轉到華為公司，一直干到2014年底。在華為十年，他講了上千場關于公司文化的課，包括用英文給海外員工講，覆蓋50多個國家。

退休后，他還關注科技話題，偶爾在論壇分享看法。他曾在訪談里說光刻機這東西，美國也搞不定，中國更別想單干，這話一出就炸鍋了。其實他想說的是，這玩意兒太復雜，得靠全球分工，不是一家一國能包圓的。

光刻機背后的國際分工

光刻機這東西，尤其是高端的EUV機，一臺得賣2億歐元，折合人民幣15億，還得排隊兩年。ASML是老大，但他們自己也承認，核心技術不到10%，其余90%靠全球5000多家供應商拼湊。

光源是心臟，得產生13.5納米極紫外光，用激光轟錫滴，每秒5萬滴，直徑30微米。ASML 2013年花25億美元買了美國Cymer公司，管光源，但主脈沖激光還得靠德國通快，一臺幾千萬歐元，獨家供貨。

光學系統用11面鏡子，極紫外光真空傳播，每面鏡子反射率70%，表面粗糙度0.1納米，只有德國蔡司行，從1990年代合作，到2012年才出首套量產鏡組，ASML后來投10億歐元買了蔡司24.9%股份。工件臺真空里6倍音速動，精度0.5納米，馬達傳感器德國貨。

2010年ASML搞客戶投資計劃，英特爾、三星、臺灣地區臺積電投50多億歐元，換優先權，用來綁供應商，形成美德荷鐵三角。朱士堯的話核心就是這個，ASML都得靠全球協作，單國想獨干頂尖光刻機不現實。

美國也一樣，蔡司鏡子、通快激光他們造不出，得進口，錫滴技術還得德國幫忙。不是否定中國，而是提醒別情緒化，得尊重規律。

中國在光刻機領域的實際進展

中國沒從頭死磕EUV，先從中低端DUV起步。上海微電子是主力，專注前道光刻機，90nm機型已規模生產，年賣50多臺，國內份額超80%。2025年5月，他們交付首臺28nm浸沒式DUV，批量后良率95%，用在汽車電子、消費電子芯片上。

在特色工藝上，他們是隱形冠軍，先進封裝光刻機全球占37%，國內85%；LED系列全球超50%。2025年底，以1.1億中標政府項目，推出SSC800/10型，填補國產這類機型空白。

EUV難點在壟斷部件，光刻膠日本JSR、信越化學把控，國產28nm ArF光刻膠剛量產，良率超90%。但中國沒閑著，哈爾濱工大破了13.5nm EUV光源，福晶科技激光晶體全球占60%，還供ASML。上海微電子擴產計劃已批，產業化在提速。

2025年，中國半導體設備國產化率從2018年4%升到13%，預計2025年破20%。中微公司Primo Twin-Star刻蝕機精度0.2埃，山東艾恩碳化硅離子注入機把國產率從8%提至15%。市場數據，2025年二季度中國大陸半導體設備銷售額113.6億美元，占全球34.4%。

光刻機不是國與國的競賽，而是全球供應鏈的協作。中國現在做的，就是在體系里一步步拆核心壟斷。

像光源、光刻膠這些，短期難全破，但方向對，步子穩，就能往前。那些說中國造不出的，可能忽略了美國也依賴進口的事實。

總之，這事得腳踏實地，別急躁，中國會造出自己的頂尖光刻機。