光刻機(jī)這行最諷刺的地方在于,越是“卡脖子”的東西,越不該虧錢。
可現(xiàn)實偏偏反著來。
日本尼康2025財年預(yù)虧850億日元,折合人民幣約36.8億元,還創(chuàng)了日本光刻機(jī)行業(yè)史上最大虧損紀(jì)錄。
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很多人第一反應(yīng)是,中國突圍光刻機(jī),最先慌的應(yīng)該是荷蘭ASML。
畢竟EUV是它的命根子。結(jié)果真相更扎心,ASML還在數(shù)錢,日本這位“昔日霸主”先頂不住,不是“被中國打敗”,而是“被時代清算”。
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想當(dāng)年,提起光刻機(jī),誰不說一句日本厲害。
2004年之前,尼康一直穩(wěn)坐全球光刻機(jī)市場第一的位置,市場份額遠(yuǎn)超當(dāng)時還不起眼的ASML。
那時的尼康,手握核心技術(shù),訂單接到手軟,全球大部分芯片廠商都要依賴它的設(shè)備。
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不止尼康,日本佳能也在光刻機(jī)領(lǐng)域占據(jù)一席之地,兩家企業(yè)聯(lián)手,幾乎壟斷了全球中低端光刻機(jī)市場。
那個年代,荷蘭ASML還只是飛利浦旗下的小公司,只能在尼康和佳能的夾縫中求生存。
誰也沒想到,短短二十年,霸主地位崩塌,虧損成為常態(tài)。
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尼康的衰落,始于一次關(guān)鍵的技術(shù)路線選錯。
當(dāng)年,芯片制造需要更小的線寬,光刻機(jī)技術(shù)面臨瓶頸,193nm波長向157nm波長進(jìn)軍時屢屢受阻。
臺積電工程師想出,用水作為介質(zhì),實現(xiàn)193nm激光的折射,直接跨越157nm的技術(shù)難關(guān)。
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于是工程師跑遍全球,找尼康、佳能合作,卻被兩家日本企業(yè)直接拒絕。
尼康當(dāng)時傲慢不已,覺得自己的技術(shù)路線才是正確的,不屑于采納客戶提出的建議。
就是這一次拒絕,讓尼康徹底錯失了翻盤的機(jī)會,也給了ASML崛起的空間。
被尼康拒絕后,工程師后來找到了ASML。
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彼時的ASML還很弱小,卻敏銳地抓住了這個機(jī)會,果斷和臺積電合作,僅用一年就造出了第一臺浸沒式光刻機(jī)樣機(jī)。
這款設(shè)備性價比極高,很快拿下臺積電的大額訂單,也吸引了IBM、三星等大客戶。
更聰明的是,ASML推出“客戶聯(lián)合投資計劃”,讓臺積電、三星、英特爾等企業(yè)入股。
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這樣一來,這些客戶不僅會優(yōu)先采購ASML的設(shè)備,還會在技術(shù)、資金上提供支持。
ASML加入了由英特爾牽頭的EUV研發(fā)組織,獲得了大量核心技術(shù)支持,而尼康和佳能被排除在外。
短短五年,ASML的市場份額就飆升到50%,徹底超越尼康,成為行業(yè)新霸主。
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看到ASML在EUV領(lǐng)域的壟斷地位,尼康也曾試圖追趕。
但EUV光刻機(jī)技術(shù)極其復(fù)雜,包含上萬個核心零部件,需要全球頂尖供應(yīng)鏈的支持。
尼康缺乏核心零部件的供應(yīng)鏈,也沒有足夠的資金持續(xù)投入研發(fā),研發(fā)過程屢屢受挫。
最終,尼康不得不放棄EUV的研發(fā),轉(zhuǎn)而專注于中低端DUV光刻機(jī)市場。
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可此時的中低端市場,早已不是當(dāng)年的格局,ASML也在布局中低端產(chǎn)品,擠壓尼康的生存空間。
尼康的中低端光刻機(jī),技術(shù)更新緩慢,價格沒有優(yōu)勢,慢慢被市場淘汰。
更尷尬的是,它連中低端市場的話語權(quán),都逐漸喪失。
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就在尼康節(jié)節(jié)敗退的時候,中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)開始發(fā)力突圍。
2023年,日本主動加碼對華半導(dǎo)體設(shè)備出口管制,宣布對23種半導(dǎo)體制造設(shè)備加強(qiáng)管控,其中就包括用于成熟制程的深紫外光刻機(jī)。
而且管控比美國更徹底,直接瞄準(zhǔn)了中國已安裝設(shè)備的維護(hù)環(huán)節(jié)。
他們試圖通過備件斷供、審批卡殼,讓中國的光刻機(jī)慢慢失去生產(chǎn)力,進(jìn)而遏制中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
當(dāng)時不少外媒都覺得,這步棋能給中國的芯片自給自足計劃致命一擊,畢竟那時候中國大量使用的深紫外光刻機(jī),核心備件和光刻膠,長期依賴日本供應(yīng)商。
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可日本沒算到,這種強(qiáng)硬的管制,反而成了中國光刻機(jī)加速突圍的催化劑。
中國迅速做出回應(yīng),一方面對鎵、鍺等半導(dǎo)體核心原料實施出口管制。這直接影響了日本半導(dǎo)體企業(yè)的原料供應(yīng)。
另一方面,集中力量推進(jìn)國產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā)和量產(chǎn)。
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2025年末,中國政府采購網(wǎng)公布的一則采購公告,上海微電子中標(biāo)了科技部下屬實驗室的步進(jìn)掃描式光刻機(jī)采購項目,中標(biāo)金額接近1.1億元。
這款型號為SSC800/10的光刻機(jī),完全能滿足高密度神經(jīng)電極陣列制造等前沿科研領(lǐng)域的需求。
這標(biāo)志著中國光刻機(jī)真正實現(xiàn)了從技術(shù)驗證到市場應(yīng)用的跨越。
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在此之前,上海微電子已經(jīng)實現(xiàn)了90nm ArF光刻機(jī)的量產(chǎn),其SSX600系列光刻機(jī),能滿足90nm、110nm、280nm等關(guān)鍵層的光刻工藝需求,適配國內(nèi)汽車電子、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的成熟制程需求。
中國光刻機(jī)的突圍,直接沖擊了日本企業(yè)的市場份額。
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2025年上半年,中國從日本進(jìn)口的半導(dǎo)體設(shè)備約合48億美元,同比下降13.24%,其中光刻機(jī)的進(jìn)口量下滑更為明顯。
尼康最新披露的財報顯示,預(yù)計截至2026年3月的財年,合并最終損益將虧損850億日元。
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日本企業(yè)的巨虧,給我們提了一個醒:核心技術(shù)從來都不能依賴進(jìn)口,別人的技術(shù)封鎖,反而會成為我們自主創(chuàng)新的動力。
當(dāng)然,我們也不能盲目樂觀。
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目前,國產(chǎn)光刻機(jī)在高端制程領(lǐng)域,和ASML還有明顯的代差,EUV光刻機(jī)的研發(fā),仍然面臨諸多挑戰(zhàn),核心子系統(tǒng)的短板還需要逐步補(bǔ)齊。
但不可否認(rèn)的是,中國光刻機(jī)的突圍已經(jīng)取得了實質(zhì)性進(jìn)展,未來,隨著國產(chǎn)替代的持續(xù)推進(jìn),中國在全球半導(dǎo)體領(lǐng)域的話語權(quán),還會進(jìn)一步提升。
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